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1、硅材料科技發展公司HCT開方機生產作業指導書編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核: 批 準： 發 布： 二XX年X月目 錄1 范圍- 1 -2 引用標準- 1 -3 定義- 1 -4 工作職責- 1 -5 操作程序- 1 -6 其它事項- 3 -7 檢查與考核- 4 -8 表格與記錄- 4 -9 附錄- 4 -附加說明- 4 -1 范圍 本標準規定了XX硅材料科技發展有限公司(以下簡稱“XX硅材料公司”) HCT開方機操作的要求、程序、內容和表達形式等。 本標準適用于XX硅材料公司開方車間HCT開方機的操作工作。2 引用標準 無3 定義 無4 工2、作職責4.1 本崗位操作員負責本規程全部具體內容操作執行、事項注意或處理工作4.2 本崗位班長負責本規程全部具體內容操作執行、事項注意或處理的監督和管理工作。4.3 開方專工崗位負責本規程全部內容操作指揮、事項注意或處理的領導和管理工作。5操作程序5.1工序流程圖OK熱機砂漿攪拌砂漿灌裝、及砂漿缸連接抽線、出錠切割確認切割條件清理砂簾粘錠裝錠、調錠、設定高度機床準備外部條件準備高度復位線槽、直線、線長核對線網建立張力臂、排線輪復位線輪安裝 NGNG下道工序清洗、送檢非合格品、邊角料入庫檢驗OKOKOKNGNG開機5.2使用機器、設備名 稱廠 家型 號使 用 目 的電動升降車、電動叉車手動插車隔3、膜泵HCT開方機把多晶方錠切割成硅塊。5.3使用原物料名 稱名 稱名 稱使 用 目 的電動升降車、電動叉車手動插車隔膜泵鋼直尺直角尺鐵锨（平板）小鐵鏟30鋼撬設備自帶工具一套橡膠手套口罩橡膠墊防護眼鏡披肩帽輔助設備及物料，滿足切割條件，所切產品各項技術要求。5.4.各工序生產作業操作規程 具體見附錄A HCT開方機流程圖6 其它事項6.1 注意事項 硅塊在清洗及送檢過程中要輕拿輕放，杜絕因為操作而早成崩邊。 粘硅塊時，硅塊較重，有砸傷危險，在操作時注意安全。 布線網時、配制砂漿時要帶好相應的防護、勞保用品。6.2 配合事項6.2.1導輪安裝時，兩人同時將導輪拿起，在安裝導輪基準側時，另一側安裝4、人務必不能轉動導輪。6.2.2 當切割線痕大于20um時，要做磨面處理，磨面后若出現輕微偏小，可輕微酸腐。7 檢查與考核7.1 檢查崗位的正崗、班組長、分管專工、車間主任等不定期的對本規程的實施和執行進行檢查，對其不正確的操作或處理立即進行糾正，對其過錯行為采取糾正措施，并實施驗證。 開方崗位的上下游正崗、班組長、分管專工在重要操作中或后對本崗位操作的符合性進行檢查，并對其不正確的操作或處理立即進行糾正，并報本崗位的正崗、班組長、分管專工或車間主任。 安全、環保專責崗位定期或不定期的對本崗位安全、環保實施檢查，并對該崗位的安全、環保作出評價或考核。7.2 考核7.2.1 各級考核部門按本規程的5、內容和要求對本崗位實施考核，對其過錯行為采取糾正措施，并實施驗證。8 表格與記錄8.1 多晶硅切割加工隨工單 Q/GCL-WF40421/BG-018.2 XX/HCT開方點檢表 Q/GCL-WF 40421/BG-039 附錄無 附加說明本標準由XX硅材料公司標準化管理機構負責提出。本標準由XX硅材料公司技術部部門負責起草或修改。本標準主要起草、修訂人：XX 審 核：XX審 定：XX、XX批 準：XX本標準由XX硅材料公司技術部部門負責解釋。本標準于二一年四月二十九第二次發布，二一年四月二十九實施。HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門6、開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容1. 開機，將電源旋轉至ON狀態，等待機床系統啟動，此過程請不要在機床確認前做任何操作，機床啟動后雙擊設備復位鍵，確認復位。 2. 檢查機床水連接。打開設備冷卻界面，點擊冷卻水開關，檢查冷卻水流量，進水溫度，確認冷卻水能達到切割要求。3. 檢查機床氣連接。打開進氣閥門使機床供氣，拔起氣動調節閥， 右旋轉，使之達到切割要求，確定后按下調節閥。 4. 檢查安裝滑輪。確定滑輪是否符合切割要求，判斷標準為切深不超過1mm，左右切偏各不超過15，確定符合切割要求后，安裝注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批7、準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第1頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容至滑輪鋁套上，確定后轉動滑輪觀察滑輪是否有偏轉情況，并確定是否符合安裝要求。5. 檢查安裝導輪。確定滑輪是否符合切割要求，檢查導輪槽及導輪片。導輪槽的判斷標準為槽深10.02mm，角度800.5，導輪片的判斷標準為布好線網，快速走線時鋼線無明顯擺動。將固定螺絲帶進導輪螺絲孔，兩人協同作業，一人將導輪安裝至軸套基準側，另一人將導輪安裝至軸轉動側8、。輕微晃動導輪，使導輪能和軸臺吻合，確定后先將導輪基準側用螺絲鎖緊，然后輕微拔出轉動側軸套，將半月夾具用螺絲鎖緊。6. 確認張力臂復位。方法為用手拉動左張力至張力臂左限位，確定后點擊左張力臂左電壓復位鍵，確定后再將左張力臂拉動至右限位，點擊左張力臂右電壓復位鍵。確定后觀察左右張力臂電壓絕對值偏差，確定電壓絕對值偏差不超過0.3伏。確定符合切割要求后，按照此方法對右張力臂進行復位。 7. 左排線輪、右排線輪復位。點擊左排線輪、右排線輪復位鍵對左排線輪、右排線輪進行復位。8. 安裝放線輪。打開放線輪制動閥，轉動放線輪，制動放線輪。選取1有砸傷風險，注意安全!注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經9、批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第2頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容符合切割標準的鋼線筒，將鋼線筒裝于電動升降車上，推動繞線室門至繞線室左邊，推動電動升降車至繞線室旁，調節叉頭高低，使電動車插孔和放線輪軸孔相連，確定后將鋼線筒輕推至放線輪軸上，拉走電動升降車，輕微旋轉鋼線筒，使鋼線筒和放線輪軸臺吻合。將壓緊盤擦拭干凈，并在接觸面及軸套涂少量潤滑脂，完畢后將壓緊盤套進放線輪軸。擦拭10、干凈鎖緊螺絲，涂少量潤滑脂，將鎖緊螺絲裝進螺絲孔，選取250NM扭力扳手并安裝上套筒，調節扭力至180NM，用扭力扳手將螺絲鎖緊，當扭力扳手發出“咔咔”聲時停止鎖緊。打開制動閥，轉動放線輪并讓制動閥制動放線輪另一個制動口，用同樣的方法扭緊。擦拭干凈護罩，并鎖緊護罩螺絲，打開放線輪制動閥。確定后轉動放線輪，觀察放線輪轉動有無晃動。 9. 安裝收線輪。打開收線輪制動閥，轉動收線輪，使收線輪制動。選取無損傷的收線輪，將收線輪裝于電動升降車上，推動繞線室門至繞線室右邊，推動電動升降車至繞線室旁，調節高低，使電動車插孔和收線輪軸孔相連，確定后將收線輪輕推至收線輪軸上，拉走電動升降車，輕微旋轉收線輪，使收11、線輪和收線輪軸臺吻合。將壓緊注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第3頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容盤擦拭干凈，并在接觸面及軸套涂少量潤滑脂，完畢后將壓緊盤套進放線輪軸。擦拭干凈鎖緊螺絲，涂少量潤滑脂，將鎖緊螺絲裝進螺絲孔，選取250NM扭力扳手并安裝上套筒，調節扭力至150NM，用扭力扳手將螺絲鎖緊，當扭力扳手發出“咔咔”聲時停止鎖緊。打開收12、線輪制動閥。確定后轉動放線輪，觀察放線輪轉動是否有晃動。10. 安裝滾筒。員工站于踏臺上，打開繞線室門，用13#扳手將滾筒鎖緊片擰下，擦拭干凈滾筒軸，將滾筒套進，鎖緊鎖緊片。放線輪收線輪滾筒 11. 布線網準備。撕去放線輪上的包裝紙，用線砣固定線頭，然后按照線的走向方式，將線固定在第一個線位槽里。打開布線模式，啟動小張力（10N），然后啟動右張力（WINDER /RIGHT/ON），啟動馬達（MAIN），啟動（MAIN+SPEED）布線網。 12. 布線網。用線桿拉住線砣按線的走向方式開始布線，在此要注意高線位和低線位的布線方式，布低線位要繞過高線位。到機床上部時，要將鋼線放進滑輪槽中。1.注13、意鋼線包裝紙箭頭方為順時針方向。2.注意法蘭在電動升降車里側。注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第4頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容13. 固定線頭。切割室織好線網后拉動線砣到繞線室，先把鋼線用線砣固定在繞線室，用內六角扳手扭開固定螺絲，把線頭固定于固定螺絲上，并把線位螺絲鎖緊。轉動收線輪，使后一圈鋼線能夠壓緊前一圈鋼線，繞線約10圈后停止。14、14. 小張力走線。關閉布線模式，關閉馬達（MAIN/OFF），啟動左張力（WINDER/LIFT/ON），待張力完全啟動后，啟動馬達（MAIN/ON）啟 動馬達加速（MAIN+SPEED），緩慢加速達到2m/s，使線走動50 米讓張力均勻的分布于線網上。小張力 15. 核對線槽。關閉馬達（MAIN/OFF），用右手轉動導輪片，左手調整線的位置，使線按照線槽的要求把線置于指定的線槽（在此注意，面向設備操作面，靠近觀察著的兩導輪，第一槽到第十槽是從右往左數，背離觀察著的兩導輪第一槽到第十槽是從左往右數）。16. 調直線。用扳手扭松滑輪托架螺絲，將滑輪托架移動至所要切割槽正上方，盡量使從滑輪出來的15、鋼線能與進入導輪槽的鋼線形成垂線，確定后將滑輪托架螺絲扭緊。扭松滑輪架定位螺絲對鋼線位置進行微調，使從滑輪出來的鋼線與進入導輪槽的鋼線形成垂線。確3要求兩人對線槽，確認后要進行互檢。注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第5頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容定后，用用手托起滑輪架，然后將滑輪架定位螺絲扭緊，依此方法對所有滑輪進行調整。在同一垂線1716、. 大張力走線。啟動大張力，啟動馬達（MAIN/ON），在走線模式下設定走線距離并走線。18. 設置線長。關閉馬達（MAIN/OFF）、右張力，（WINDER RIGHT/OFF），左張力（WINDER/LIFT/OFF），打開線位頁面，設置高線位為135KM（放線輪有線140KM，若購買鋼線為150KM時，則設定鋼線長度為145KM）并按線長復位鍵，確定后啟動右張力（WINDER RIGHT/ON）啟動左張力（WINDER/LIFT/ON）。完畢后走線30-60米。19. 高度復位（在每次機床斷電后重新啟動機床時一定要復位，或者在機床長期切割沒有復位情況下可復位）。點擊工作臺復位鍵，使機床高17、度復位。至此機床已具備切割必要條件。（為防止機床自動關閉左張力WINDER/LIFT、右張力WINDER /RIGHT，可打開馬達MAIN/ON）4. 一般走線30-60米，若收線輪為空輪時要求設置為200米，并啟動走線模式，讓張力均勻的分布于線網注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第6頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容20. 粘錠。清理干凈工作18、臺，清理將要粘取的硅錠，在工件板4個角分別 放一塊橡膠墊片。然后用夾具夾住硅錠并用龍門吊將硅錠吊起。用手動叉車將工作臺叉至硅錠正下方，拉走叉車，放下龍門吊上的硅錠，使硅錠垂直的放置于工作臺。打開并移走夾具，放置好后，調節硅錠在工作臺上的分布位置使硅錠均勻的分布于工作臺中間，然后插好工作臺護欄，等待約3小時讓泡沫膠風干，等達到切割要求強度時準備切割。 21. 砂漿配制。砂漿配制按砂漿配制作業指導書嚴格執行。22. 砂漿缸準備及連接。打開砂漿室，按下電源連接帽并取下電源插頭，將電源插座用連接帽連接，同時將電源插頭和砂漿缸連接電源帽連接。打開砂漿缸剎車，將砂漿缸拉出，用水清洗并吹干，用蘸滿酒精的布擦19、拭干凈砂漿缸。將砂漿缸拉至砂漿攪拌桶旁，將隔膜泵吸切割液油管的一端放入砂漿攪拌桶，另一端放置于砂漿缸里，連接好氣管。抓好油管打開氣閥，將配制好的砂漿打入砂漿缸里，確定后，將砂漿缸推進砂漿室，并使砂漿缸感應器感應到砂漿缸（感應器紅燈亮）。打開電源插頭及電源插座，并按數字對應的原則連接電源插頭及電源5第一次使用工作臺時要用蘸滿酒精的布對工6要求左右上下偏差不超過3mm7在切片時，砂漿要求密度較低，開方時密度要求相對較高，故，砂漿配制時，炭化硅：切割液=1.13KG：1.25KG8清晰時杜絕水濺入馬達注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XX20、XX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第7頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容插座，確定后蓋好電源帽并按下卡鎖。轉動砂漿接嘴，使砂漿接嘴和砂漿缸相連，確定后關閉砂漿室。電源座 砂漿缸 砂漿回流缸注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第8頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部21、門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容23. 砂漿攪拌。點擊砂漿界面，點擊砂漿攪拌，杜絕砂漿在砂漿缸沉淀。24. 裝錠。點擊工作臺升起鍵將工作臺升起，將粘好的硅錠用電動叉車叉于工作臺叉孔中，升高電動叉車上，將粘好錠的工作臺平放于切割室承重臺上。工作臺和承重臺相連 25. 調錠。雙擊切割臺下降鍵（ TABLE/DOWN），待鋼線和硅錠即將接觸時停止進給。通過進給螺絲，頂動工作臺。用線砣固定一根約30cm的鋼線，固定鋼線，觀察工作臺偏向，調整進給螺絲，使鋼線均勻的分布于工作臺鋼線槽里。確保切割時鋼線切不到工作臺。四邊確定無誤后，扭動進給螺絲，使螺絲能夠輕微頂到工作臺上22、。取出工作臺夾具，在主馬達側將長夾具安裝至工作臺左側，長夾具安裝至工作臺右側。在輔馬達側將長夾具安裝至工作臺右側，長夾具安裝至工作臺左側，并將鎖緊螺絲鎖緊。26. 設定切割高度。將切割臺下降至高線位鋼線離硅錠有1-3mm處停止進給，觀察各鋼線是否與硅錠的最高點接觸，若鋼線和硅錠有接觸，點擊切割臺升起鍵，使鋼線和硅錠的最高處不接觸。確定后，點擊高度設定界面，點擊切割距離復位鍵并點擊編輯命令鍵，使機床自注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第9頁HCT開方機作業指導書 XX硅材23、料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容動生成切割程序。27. 清理砂簾。關閉切割室門，打開砂漿流量模式，確認砂漿密度（1.670左右，密度不夠可在切割室內加一定量砂，砂加半袋以上要砂漿循環1.5小時以上），待砂漿流動穩定后，打開切割室門，將刀片放進砂簾口，用刀片劃去砂簾里的雜物，讓砂漿能均勻的噴出。依此方法對4個砂簾進行清理。 28. 關門熱機。關閉切割室、繞線室門，確認后點擊門鎖鍵。點擊熱機鍵，設置熱機時間（10分鐘左右）然后點擊確認，在預覽鍵里查找是否符合切條件，如果一切符合切割條件則關閉安全旁路（D24、OORS/SAFEBY-PASS）。等待切割圖標，待狀態圖標浮起后點擊開始鍵。此時機床開始熱機，但工作臺不下降。29. 核對切割條件。等待機床熱機完畢后機床自動開始切割，此時暫停切割，打開安全旁路（DOORS/SAFEBY-PASS），點擊門鎖鍵，打開切割室門核對線槽。再次確定線槽無誤后，再次對砂簾進行清理，確定符合切割條件后，關閉切割室門、繞線室門，點擊門鎖鍵，確定無誤后點擊預覽確認切割條件，切割條件具備后關閉安全旁路。（DOORS/SAFEBY-PASS）30. 開始切割。一切無誤后點擊開始切割鍵，此時機床開始切割，工作臺下降。確認切割后，用濕布擦拭干凈機床。31. 填寫切割記錄單。機床開25、始切割后，利用空閑時間按照要求對設備運行的記錄單據進行填寫。確保記錄單據真實、有效、干凈、整潔、及時。9.點擊暫停鍵，此時砂漿不停止，若點擊了停止鍵，砂漿會自動關閉。10.在開始切割前有任何疑問或者感覺沒做到位的狀況下都要找到班組長或者技術人員確認切割條件，杜絕切割出現錯誤注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第10頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內26、容32. 結束切割。切割結束時機床會自動停止并發出報警聲。打開安全旁路（DOORS/SAFEBY-PASS），點擊門鎖，打開切割室門觀察硅錠是否被切透。33. 抽線。若硅錠已切透，則關閉左張力（WINDER/LIFT/OFF），關閉右張力（WINDER RIGHT/OFF）剪斷從馬達導輪上的鋼線以及繞線室里的線，在主馬達導輪處抽出切割鋼線。34. 升起工作臺。雙擊切割臺上升鍵（ TABLE/UP）讓切割臺升起。35. 出錠。用扳手取下夾具，然后扭松調錠螺絲（螺絲和螺口相平即可），將電叉車插至工作臺插口，緩慢升起叉車，使工作臺脫離切割室承重臺。倒動叉車，使工作臺移出切割室。 36. 洗錠。將裝錠27、的叉車開至系錠室并放置于清洗臺上。用小鏟鏟去硅錠上面殘留的砂漿，并將廢砂漿倒至垃圾桶。打開自來水水閥，用水沖洗干凈硅錠表面及側面殘留的砂漿，然后用壓縮空氣吹干硅錠表面。然后用記號筆標注好硅塊編號、長晶方向等。(如下圖)11工作臺進給和砂漿和馬達自動停止，但張力不會自動關閉。注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第11頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內28、容TC0102 0304 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 37. 清洗邊料。取下工作臺上的護欄。然后依次取下邊角料，對齊并鏟去殘留的泡沫膠，用水沖洗干凈，并用壓縮空氣吹干，然后置于邊角料回收箱，在回收箱上標明硅錠號，重量等數據，以做入庫。38. 清洗硅塊。清洗硅塊時用手按住硅塊靠邊的一角，從四個角開始取下硅塊，方向為兩邊的對角線，依次按照此方法取下所有硅塊，置于工作臺，然后一手按住硅塊，另一手握住小鏟，用小鏟鏟去硅塊尾部的泡沫膠，依次清理所有硅塊。用水清洗干凈所有硅塊，并用壓縮空氣吹干后放于小車上。 29、（清洗時硅塊受力方向圖）12注意不要將邊角料摔碎，護欄放置于專用的塑料箱內。注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第12頁HCT開方機作業指導書 XX硅材料科技發展有限公司受控狀態實施日期2010年4月29日適用部門開方車間受控實施責任者車間主管作業流程注意事項、自互檢要求作業內容39. 送檢。將小車上的硅塊做好編號，并在硅塊側面標明錠號及頭尾。將邊料箱放到小車底層一起拉至檢測室做品質檢測。40. 清洗工作臺。用鐵锨鏟去工作臺上的泡沫膠，并用鋼撬撬起落于工作臺中間的泡沫膠，然后用小鏟鏟掉工作臺表面的泡沫膠，用水沖洗干凈工作臺上的砂漿、泡沫膠，清理干凈后，用叉車插走工作臺，并放置于定點區域。注：本文件的更改，應由建議者提出申請，經批準后方可變更。編制審核會審批準變更內容：XXXXXX、XXXX編號版本號總13頁Q/GCL-WF 404232010a第13頁