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1、新能源硅片加工車間半自動超聲波清洗作業指導書編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核: 批 準： 發 布： 二XX年X月一、目的: 本工序是將脫膠完成裝進花籃的硅片進行表面超聲波清洗，以去掉硅片表面的油污。二、適用范圍：本文件只適合xx光科新能源硅片加工車間半自動超聲波清洗工序。三、物料需求： 1、裝進花籃待清洗的硅片；四、工藝流程： 裝片 鼓泡（超聲） 超聲波清洗 純水清洗 甩干五、工藝步驟：5.1 打開純水閥門，分別給機器清洗槽內加水（水槽內全是15M純水），三、四.五槽內水位加至110L；5.2 打開“電源”、“加熱”、“超聲”開關，檢查設備運2、行狀態是否正常；5.3 將半自動清洗機的水槽內加入清洗劑802#或JH-15型。方法如下： 四五JH-15A2400ml2400mlB1200ml1200ml注意；在添加清洗液時戴好手套，將桶口察干凈，以免有雜質影響清洗質量。5.4將插好片的花籃并排放進清洗機的提籃內，每提籃內放六個花籃（見圖一）， 圖一5.5等清洗機水溫升至設定溫度后，把一、二、六、七槽的溢流打開，使槽內水保持清潔，然后將提籃放入第一個清洗槽內，啟動“擺動”開關和“超聲波”開關，并打開一、二槽“鼓泡”開關（三至七槽不開鼓泡），第一槽時間結束后將提籃移至第二槽，第二槽結束后，將提籃移至第三槽；重復以上動作直到七個清洗槽全部洗完3、畢； 注意：硅片從一個清洗槽移至另一個清洗槽要垂直提取、垂直輕放，避免碰碎或造成裂片。5.6清洗完成后將硅片連同插片花籃橫向放置裝入甩干機內，花籃擺放必須保證平衡，要求對稱放置；（見圖二） 圖二5.7雙手同時按控制面板兩邊的紅色“關門”按鈕，待門完全關閉后，按綠色“啟動”按鈕甩干，甩干過程為260秒，溫度1205；待控制面板上的時間歸零，按開蓋按鈕；5.8開蓋后將花籃拿出；將甩干后的硅片整齊地擺放到硅片周轉臺上待檢，用完的花籃、提籃整齊擺放在指定區域； 5.9每次更換清洗液后，用溫度計測量升溫后的水槽內溫度是否與設定值一致，溫差范圍在2； 5.10 工藝參數設置表：第一槽第二槽第三槽第四槽第五槽第六槽第七槽甩干機半 自 動溫度455505505505505455505120時間360秒360秒360秒360秒360秒360秒360秒260秒 注意： 整個清洗過程中，嚴禁花籃、提籃擺放在地上。六、技術規格和標準：環境要求： 1 .濕度55%RH；2 .溫度233；附件： 無要求；