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1、公司鍍膜部門作業及器材保養管理制度編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: 一、 受入檢查：1、 大板受入檢查：A板厚：a、 所有研品板厚必須全測，并做好記錄。b、 在測定板厚時，不允許同時測兩種板厚的玻璃。c、 同一臺面上不允許有兩種產品和兩種板厚的玻璃同時作業。d、 為了防止劃傷產生不允許同時拿3枚以上的玻璃進行測定。B外觀：a、 嚴格按作業指示書的產品外觀要求進行受入。b、 研品外觀不良累積到一定數量后由相關班長確認后退給研磨，嚴禁自己造成的不良退到前工序。二、 大板表面處理：A、 板厚的確認：（與“大板受入檢查”中板2、厚測定要求相同。）B、 磨研磨材a、所用研品在投入洗凈之前必須兩面磨研磨材。b、擦試時用力均勻，玻璃每個部位都需磨到位。c、為了準確計算直行率AR關系、HM關系使用部門內跟蹤單填寫，后工序依次填寫。C、 洗凈：a、 所有研品裝筐時洗凈時，劃線面應朝一致方向，并且劃線角向上。b、 在現品票上注明相關內容。（品名、機臺、枚數、鍍膜品、研品等）c、 洗凈后的玻璃要及時放到干燥柜中。d、 各機臺只能使用本機臺的玻璃，不能亂拿亂用，根據生產情況需征求其它機臺許可后才可拿取。C、膜面的確認：a、 組裝玻璃時，確認好需鍍膜面。b、 劃線角朝同一方向放置，以便確認膜面，避免膜面鍍反。D、 重鍍品的注意點：a、3、 哪臺機出現的鍍品必須在哪臺機重鍍。b、 重鍍LOT需激光全數測定并保留有記錄。c、 重鍍時需分清膜面后裝。d、 托盤上、中、上投入玻璃需區分開，重鍍投入時按上、中、下分別組裝。e、 重鍍品應在現品票上注明“重鍍”，測定工位做好特別管理。并由品證檢證OK后才可出貨。E、現品票：a、 現品的書寫要規范，不能潦草馬虎。b、 現品票上的內容需與各質量記錄內容相對應。三、 鍍膜：1、 鍍膜時前的準備和確認： 點檢：a、 每天的始業點檢必須在8：30之前完成，要認真的逐項點檢，逐項記錄，相關班長和職長確認。b、 鍍膜前要進行各項點檢（回轉、坩堝、監控、水晶、真空計等，詳見作業指示書）c、 任何操作員不得4、以任何理由修改電腦程序，要修改電腦程序需經職長以上人員同意。d、 機臺操作員除操作本機臺電腦外，不得隨便操作其它機臺的電腦。e、 不得拷貝其它文件入電腦。f、 不得使用電腦進行無關工作的操作（如玩游戲、撲克牌等）。 監控玻璃：a、 在換新監控時，確認監控的型號，需仔細確認所換的監控是否是新的，是否干凈。b、 確認需使用的監控玻璃是BK-7還是SF-11。c、 不管是否戴指套或手套，均不得觸摸和捏住監控的中央。d、 監控玻璃不可以疊放在一起。e、 確認監控位置有無偏位。 SF-11的管理：a、 使用SF-11監控的機臺收集使用過的SF-11監控；平放在膠盒里（防止劃傷），送往單研再加工。b、 此5、機臺操作員負責把從單研加工回來的監控玻璃裝筐冼凈。c、 機臺操作員在使用前必須確認監控玻璃是否研磨干凈，防止因膜未磨掉導致特性NG。 停電后的處理：a、 停電后要將所有儀器、儀表開關，打到“切”的位置，并關閉分、總電源。b、 來電后，要重新做始業點檢，并記入點檢記錄、由班長、職長共同確認。c、 在鍍膜中突然停電，所鍍產品需報告班長以上人員。水晶振動子的管理：a、 各機臺根據生產需要到班長處領取新的水晶振動子，并作好登記。b、 未使用等離子，離子裝置的機臺，將用過的水晶振動子泡入裝有剝離液的瓶中，進行再生。（水晶數值低于5.920以下時均需再生）。c、 使用等離子，離子裝置的機臺，將無法剝離的水6、晶振動子退回倉庫。d、 各機臺使用過程中發現有不安定的水晶振動子收集在一起單獨保管，每個月清點一次，待數量達到100枚以上時，送資材庫，再送往日本再生。停機后的處理： a 機器停機一天后，重新啟動需空排1小時。 b 重新啟動機器，轉換產品需做一次試驗。2、 質量記錄： 投產判定：a、 投產前明確膜結構，鍍膜條件并記錄蒸著記錄表文件夾保管。b、 班長根據產品特性要求判定實驗是否成功。清機后第一個LOT必須經過東、南、西北方向上、中、下每枚玻璃三個點進行分光、激光測定，確認差異，由班長確認、測定職長確認。c、 班長判定特性OK后，需在分光圖上寫一“實驗OK可投產”字樣并簽上姓名后方可投產。d、 每7、個月的20日前各機臺的產品造取1個LOT對激光、分光特性全測，測定數據交給統計作成圖表統一保管，確認裝置能力。 分光記錄：a、 每個LOT分光圖、記錄紙、特性記錄表以及鍍膜條件需按編號依次夾入機臺分光文件夾內，由班長確認。b、 分光圖上需根據制造指示圖書劃出特性范圍，并寫上蒸著擔當者和測定者的姓名、LOT NO、測定角度。c、 NG LOT的分光圖上需注明“NG”字樣，并將各種記錄夾到文件夾中保留。d、 每個月結束分光圖上需打包整理后交給統計送往倉庫保管。e、 分光、激光記錄每天都要有班長以上人員確認并蓋章。 異常發生時的處理：a、 機器故障發生一報告班長，發維修單聯絡機修人員及時修理，擔當者8、也要在一旁協助學習合理技術。b、 當特性NG時，擔當者必須報告班長、職長一起分析原因，商討對策，嚴禁一意孤行，延誤生產造成不必要的損失。c、 上司發現的問題點必須認真對策，防止問題點反復出現。 因停電、機器故障等因素造成重鍍產品的管理。a、 需續鍍產品按重鍍品方法作業。3、 入換：a、 加快入換速度，縮短入換時間。b、 避免真空室門長期尚開，擔當者不能有不在場的情況出現。c、 擔當者不在場時，機器必須保持排氣狀態。d、 入換時必須先取下玻璃，再進行清掃，嚴禁先清掃再取玻璃。4、 排氣停止的使用：一般情況下，不使用“排氣停止”因為在排氣停止狀態下，玻璃易產生吸收，造成品質不良，因此鍍膜結束后馬上9、入換取出產品，不能按“排氣停止”鍵等待。5、 清機：機器清掃前必須先聯絡相關班長，何時停機聽從安排，以免發生多臺機器同時停機的現象，基板加熱不可以用電鉆清掃只許用銅絲刷清掃。清掃完畢報告班長確認，確認OK以后才能進行排氣并填寫清掃確認表。（清機時鍍膜房門都要打開，風扇也要打開，清洗機器的廢混合液時需用錫箔紙蓋起，不可用照明燈照機器內部。） 塑料布的使用：a、 清機時，鍍膜室地板上要鋪上塑料布，防止灰塵進入地板下，縮短地板下過濾器的使用壽命。b、 機器操作盤上也要覆蓋塑料布（避免灰塵進入操作儀器，影響靈敏度、精密度。）c、 清機完后，需將塑料布上灰塵除去，并疊好放到指定的位置保管。d、 清掃完畢10、，必須由所屬機臺班長進行確認機器狀況是否正常。 補正板：a、 卸補正板前，需做好補正板形狀大小，高度的記錄、位置高度與托盤對應。b、 噴砂前貼有錫箔紙的補正板將錫箔紙撕掉后拿去噴砂（正反兩面都要噴砂）。c、 補正板在調零時，不可使用過多的高溫膠，禁止濫用高溫膠。d、 治具及零部件的噴砂：治具在運輸途中必須整齊擺放，不可疊放、亂放，治具燒成時同樣不可疊放、亂放；治具上不能壓有鋼板，零部件等。治具燒成時，同樣不可疊放，亂放。 托盤高度的管理：a、 每次清機時都需要測量托盤高度，并把測量數據夾入“治具點檢表”內，由班長確認，生產職長負責承認。b、 托盤高度測量值如果超出允許差值，將要對托盤進行修理，11、每臺機的托盤高度都有標準測量數據和允許公差，見“治具點檢表”。（由班長、職長確認OK方可投入使用） 電子槍的噴砂和組裝：a、 電子槍噴砂時需拆卸開后噴砂，（瓷片不噴砂，電子銃上螺紋不能噴砂）b、 電子銃用氣槍吹凈。c、 組裝完后給相關的班長確認。d、 高壓異入部的銅線也要進行噴砂。 工具的使用：a、 清機拆卸零部件時，只能使用對應型號的工具。b、 工具到班長處領取且作好領取記錄，用后歸還，不得私藏工具，如有遺失，得負責賠償。c、 有備用鋼板的機臺，備用鋼板噴完砂后，須整齊地擺放在各自機房內，妥善保管。d、 機器清機時，機器擔當者要清點好本機臺各部品的數量及完損，并且記錄在清機后機器部品清點表上12、，班長及時確認。e、 清機時，部品拿去噴砂前，電子槍及離子槍之類的一些小部品全部用鐵絲串在一起，再拿去噴砂。f、 放置部品的木盒，須標識清楚。g、 機器部品需更換時，須報告給當班班長及干部再聯絡機修人員進行更換。h、 機器各部品直接由本機臺機器擔當者負責保管，如有遺失，擔當者應負保管失誤之責。6、 裝置的保養和維修（TPM）： 電腦程序的保護：a、 所有自動鍍膜機電腦不準使用和更改屏幕保護。b、 非本機臺操作員不得操作該機電腦。c、 擔當者不得以任何理由在未經職長以上人員同意時擅自修改電腦程序及文件。d、 在自動鍍膜時，不要使用電腦進行其它操作。 泵的管理：a、 保持泵體的干凈，保證泵房地面的13、清潔。b、 各泵的換油時間，RP泵1次/1月，MBP泵1次/3月，維修時間需在4M變更記錄本上記錄。c、 換油統一倒入指定的裝廢油的桶中，并需把廢油桶上殘留的廢油擦凈，將桶蓋住。7、 吸塵器的使用：a、 吸塵器在使用時不可以吸水，刀片和大塊碎玻璃等。b、 吸塵時注意保持吸管暢通，吸口與物體之間也要留有空隙，防止吸口封閉，電機負荷過大，燒毀電機。c、 使用完后，收好電源線，放回指定位置。d、 每15天指定人員，倒去垃圾，將吸塵袋拿到噴吵房，用氣槍吹干凈，并將吸塵器表面擦拭干凈。四、 分光、激光測定： 雙面膠的使用：a、 在治具上貼雙面膠進行測定時，只能貼一層，且要求平整、無卷邊，使用雙面膠面積盡14、量要小。b、 每半個小時必須對雙面膠進行更換。c、 更換時先撕掉舊的雙面膠，再用廢抹紙沾混合液把治具上殘留的雙面膠完全擦凈再貼上新的雙面膠。d、 在實際使用過程中，一發現雙面膠有卷邊等異常現象時，需及時更換。e、 對于貼在治具上測定過的產品，務必將殘留在上面的膠擦凈后才能進行下一次測定。 測定治具的使用：a、 使用分光測定機專用治具時，必須輕拿輕放，并且按照正確的拿法進行治具更換。b、 進行治具更換時，要先將測定臺上的治具雙手取出，放在安全的位置，才能將需要的治具放上測定臺，嚴禁一手握一個治具進行交換。c、 測定治具的反射鏡不能用手摸，要小心保管以防引起測定治具不精確。d、 若發現治具有變形異15、常時，需馬上聯絡干部進行處理。 測定方法的補充：測定擔當者在測定時不能用手拿捏或觸碰測定點。 不得拷貝任何與測定無關的內容到分光機，分光機保護屏幕不得任意更動。 所有測定數據都只能保存在D盤（不可保存在C盤） 所有測數據保存六個月以上。 監控玻璃出荷檢查：a、 倉庫管理員領回各種型號的監控玻璃后，各抽取1枚擦干凈后交給分光測定員進行測定。b、 測定條件：0入射，范圍400-700nm透過率0-100%。BK-7 91.5%以上 SF-11 85%以上c、 測定后的分光由生產職長確認，判定OK后可投入使用。五、 外觀出荷檢查： 板厚的測定： 外觀檢查時，AR關系產品進行板厚全測，并記錄10個數據16、，其余產品每個LOT抽測5枚，記錄5個數據。 膜面的確認： 外觀檢查時，每種產品、每枚玻璃的膜面都要進行確認。 現品票的確認： 為避免出現品名與產品不相符合的現象，需對現品票的填寫內容進行確認，是否填寫正確，填寫完整，數量是否相符。 鍍膜品存放一周以上，必須更換干燥劑，且每個膠盒內需放兩個。 外觀OK品，半個月以后出荷的，需全檢后再出荷。六、 其他： 在庫管理：a、 保留品的管理：外觀保留和特性保留均不可超過一個星期，否則一律判NG。b、 在庫缺少的由相關機臺負責查清原因。c、 生產過程中產生的各項不良需詳細記錄在良品細目表和機械裝置運轉報告書上。 膠盒：a、 裝玻璃的膠盒必須是經過洗凈后，無17、臟污，無其它標識，有油性筆記錄后需用抹紙控拭后才可使用。b、 不能使用有水珠的膠盒及材質軟的膠盒。c、 不能使用破損的膠盒。d、 膠盒內必需放二個干燥劑。 干燥劑： 干燥劑每周801H再生二次，并做好相關記錄以備查證（需班長確認OK） 燒成：a、各機臺產品根據規定選擇燒成條件，燒成前的玻璃必須要洗凈，現品票上注明燒成條件。b、燒成時必須按照燒成記錄表內容填寫完整，每一個LOT都必須登記。c、燒成中途不能打開柜門，否則會造成特性變化及破損，需在100方可打開燒成機門。D、未燒成品及燒成品需做好標識，必須使用專用燒成、洗凈籃，再放入指定干燥柜的指定位置中保管，不得放在燒成柜頂部。e、 燒成后先取下18、層，依次往上取防止推拉灰塵掉落貼在產品表面。 煮沸：a、 煮沸品必須插入專用煮沸籃中煮沸，不能直接放入煮沸鍋中，疊放著煮沸，必須及時煮沸有異常必須報告相關班長確認并作好記錄。b、 第一次煮沸NG，拿良品重新煮沸，煮沸結果OK判定為良品，NG作廢棄處理。c、 用溫度計測量溫度達到100后將產品放入再次測量水溫達到100開始計時。 噴砂：d、 噴砂擔當者在噴砂時必須輕拿輕放，以免造成治具、鋼板、零部件變形，氣壓要適當，不可以太大。轉盤周邊也要噴砂，鋼板背面有臟物時，也要進行噴砂。e、 噴砂洗凈后的各種產品，均要用氣槍吹干。f、 洗凈后的廢酒精，要倒入專用桶中，不能亂倒。g、 嚴禁煙火。 洗凈：a、 洗凈前需檢查洗凈籃是否松動。b、 提取玻璃時必須輕拿輕放。c、 洗凈時間，干燥時間，IPA更換頻率必須嚴格按作業指導書操作。d、 廢藥劑必須運到污水處理池進行傾倒，傾倒時廢液完全倒入，不可傾灑在四周。嚴禁把藥劑直接進行排放，若發現有違反者交由廠部處理，廢IPA送往噴砂房洗鋼板再利用。七、 作業前的注意點： 拿取玻璃時，擔當者必須戴指套（除小手指外其它全部戴）。 出貨外檢人員、X-CUBE表面處理員，作業時必須戴口罩，其它人員根據實際情況而定。