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1、1.0 目的. 1.1 靜電放電已被認為是對靜電放電敏感的電子零件造成時好時壞、質量惡化、潛在失效和劇變失敗的主要原因之一，為了確保電子裝配品的長期可靠度，我們必須保護它們，故定訂本手冊。1.2 本手冊規訂電子零件和裝配品和暴露在裝配、測試、搬運、儲存和交貨過程中，利用物質和環靜條件的管制來保護產品和工作人員不受靜電放電損害的最低標準和程序。2.0 適用范圍. 2.1 本手冊適用于本公司的研發、采購、接收、進料檢驗、倉儲、備料、加工 、裝配、測試、包裝、交貨、裝機和維修等區域。 2.2 本手冊也適用于本公司的供貨商，特別是供應對靜電放電敏感的零件、裝 配品和成品。3.0 責任. 3.1 質量保2、證部門是靜電管制計劃的協調單位。 3.1.1 負責制定、修定靜電放電管制政策和程序。 3.1.2 工程部負責規化及評估材料、設備和工具符合本手冊的要求,并建立 合格供貨商一覽表。 3.1.3 建立連絡方法和管道。 3.1.4 品保部定期稽核各單位執行狀況，以期更早發現問題，更快解決問 題。4.0 參考文件. 4.1 DOD-HDBK-263 保護電氣和電子零件、裝配品和設備的靜電放電管制手冊。 4.2 MIL-STD-1686A 保護電氣和電子零件、裝配品和設備的靜電放電管制計劃。 4.3 MIL-B-81705 彈性、無靜電、熱封性佳的障礙物。5.0 定義. 5.1 靜電放電(ESD)： 由3、不同靜電電位的物體因直接接觸或因靜電場的感應而導至物體間靜電荷 的移動。 靜電放電的快速電荷移動會產生很大的瞬間電流、強的電場和電磁幅射等 ，它們如通過或接近電子零件時， 便會加以破壞。 5.2 靜電放電敏感項目(ESDS)： 對 15.000 伏特以下的靜電放電敏感的電氣和電子零件、裝配品和設備。 CMOS , NMOS , JEFT 和其它低功率或緊公差之零件對靜電放電最敏感。 5.3 靜電放電保護區 (ESD PROTECTED AREA)： 具有限制靜電放電電壓低于靜電放電敏感零件的敏感水平的靜電放電保護 材料和設備的區域。 5.4 局部處理 (TOPICAL INTESTATE )：4、 加在一絕緣材料的表面以降低其摩擦生電能力的一種化學劑。 5.5 離子產生器(IONIZER)： 在一局部的表面上利用對空氣分子充電形成正、負離子來消耗靜電荷的設 備，相反的電荷相吸，促使電荷中和。 核能設備一般是使用釙 210 當作 ALPHA 射極，而電氣設備則使用電暈 (CORONA)放電以產生正、負離子。 一般而言，核能設備較好，因為它不會產生臭氧和不會點燃可燃的氣體或 蒸氣，有些設備也可追加加熱器。5.6 主動零件(ACTIVE COMPONENT)： 能夠控制電路中的電流或電壓，以產生增益或開關作用的電子零件，如 IC , PROMS ,ROMS,RAMS,LCCS,HYBRIDS5、,TRANSISTORS,DIODES.等。 5.7 被動零件(PASSIVE COMPONENT)： 一系統的某些損耗的無功率零件，如:電阻器,電容器,電感器,變壓器.等。 5.8 電場隔離(FIELD SHIELDING)： 利用傳導容器當做靜電和電磁線的障礙物，使被包裝的東西不會感覺到容 器的表面電荷。 5.9 抗靜壓(ANTISTATIC)： 表面電阻系數在 10 的 9 次方10 的 14 次方奧姆SQ 5.10 消耗(DISSIPATIVE)： 表面電阻系數在 10 的 5 次方10 的 9 次方奧姆SQ 5.11 傳導(CONDUCTIVE)： 表面電阻系數在 0 10 的 5 6、次方奧姆SQ 5.12 硬接地(HARD GROUND)： 將一金屬棒或金屬板埋入地下，使其接地電阻在 1.0 奧姆以內的任何點。 5.13 軟接地(SOFT GROUND)： 藉一電阻(一般為 1 M 奧姆)來限制從可評估的電壓源而來的電流 5mA 以 下，來隔離一硬接地的任何點。 如: 消耗桌墊、地毯和腕帶就是一般的軟接地，它們可以消除操作員一手接 觸一高壓電路和另一手接觸硬接地之危險。 5.14 人造的材料及衣服(SYNTHETIC MATERIAL AND APPAREL)： 任何聚脂 、人造纖維、耐龍和其它聚合樹脂和布所制造的東西都會產生靜 電，由這些材料所制造的產品對靜電放電敏感零7、件都會有影響，故一定要 避免使用。 5.15 摩擦電荷(TRIBOELECTRIC CHARGE)： 當兩個或兩個以上的表面在緊密接處下加以分離時，因互相移動和摩擦而 產生靜電荷，當相反的表面有過剩的電子時，電子會從另一表面脫離。 5.16 脫離(SLOUGHING)： 當一材料被彎區或摩擦而導致顆粒物的脫落。 5.17 等位結合，分路(EQUIPOTENTIAL BONDINGSHUNTING)： 一零件或裝配品的零件腳和端子連接在一起后，通過一低阻抗，可大大的 降低靜電放電的損害。 5.18 高傳導材料(BULX CONDUCTIVE MATERIAL)： 在一熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣8、材料內加入一傳導物質或金屬(一般是 碳膜)以降低電阻系數在傳導范圍內。 5.19 抗靜電材料(ANTISTATIC MATERIAL)： 在一熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣材料內加入一抗靜電物質使它有抗拒 摩擦生電的電荷和降低電阻系數在抗靜電范圍內。6.0 材料. 采購抗靜電材料必須從合格的供貨商購買，采購本手冊所規定之外材料之 前，必須取得品保及工程部的認可。 6.1 被覆材料和局部抗靜電 6.1.1 抗靜電液 在會產生靜電的容器或塑料上被覆一局部抗靜電層后，才可在靜電 控制區內使用。 6.1.2 抗靜電清潔劑 利用噴、刷、浸或其它類似的制程將清潔劑加在會產生靜電的物體 表面，如工作臺面、座架9、輸送帶棧板和其它東西。 6.2 抗靜電板材料 6.2.1 隔離袋，靜電場隔離 、透明 、 熱耐性、三層 、內層為金屬化層 不可使用訂書針封袋子，因它會降低袋子的回收率，而應使用防靜電 標簽，橡膠條紋，夾子或熱封。雖然內層(金屬化層)未暴露，但仍 然不可使用于會直接與自有電源的裝配品(如電池)接觸的包裝，因 它會產生分路效應，因此 ,必須先用抗靜電材料包裝,然后再放入隔 離袋。 6.2.2 阻礙材料(粉紅色塑料袋)，透明、防水、防靜電、耐熱性 MIL-B-81705,TYPE 2 是 6 MIL 。 一般商業性是 24 MIL。 這些袋子如未熱封過，則可再使用 6.2.3 阻礙材料,不透明、防10、水、防靜電、防電磁場 符合 MIL-B-81705 , TYPE 1 僅適用于需要高水平之電場隔離和防靜電場合. 不可使用于會直接與自有電源的裝配品(如電池)接觸的包裝,因為它 會產生分路效應其它場合可使用透明的隔離袋 6.2.4 包裝薄膜和高傳導材料 不可使用于會直接與自有電源的裝配品(如電池)接觸的包裝,因為它 會產生分路效應 6.2.5 抗靜電包裝薄膜 6.2.6 警告標簽 0.6 吋 x 2吋是理想的小袋子封閉物 4 吋 x 4吋是使用于交貨的外箱、箱子、籃子和料盒上7.0 設備. 7.1 焊錫和吸錫設備-接地頭 品保和工程部門認可的產品才可購買如 : 焊錫站，吸錫站7.2 測試設備 11、每年至少需校驗一次 使用電池的測試表，在稽核保護區之前，必須先確認電池 7.2.1 M表(驗證表面電阻系數) 精密度必須在 +/-10%以內(全刻度)不可使用不可接地的 AC 電源表于未保護的靜電放電敏感零件或裝配品附近 7.2.2 電阻測試表(驗證腕帶和電線之完整性) 精密度必須在 +/-10%以內(全刻度) 不可使用不可接地的 AC 電源表于未保護的靜電放電敏感零件或裝配品附 近 7.2.3 靜電表(測量靜電荷的密度) 精密度必須在 +/-10%以內(全刻度) 不可使用不可接地的 AC 電源表于未保護的靜電放電敏感零件或裝配品附 近 7.3 離子產生器(減少在絕緣物上所產生之靜電) 即線式12、空氣游離器，核能 7.4 傳導性的腕帶(具有 1 M 的電阻器) 7.4.1 含伸展卷線,香蕉插頭連接或按扣連接 7.4.2 電阻包在腕帶的橡膠帶內，卷線的電阻為零或電阻包在卷電線內，而膠 帶的電阻為零 7.4.3 轉接器(將香蕉接頭轉換為 10 mm 的母按扣，以便與桌墊的按扣相連接) 鱷魚夾或類似的夾子也可以 7.4.4 接地方塊，提供 2 個香蕉插座連接硬接地線 7.5 接地電線 7.5.1 軟接地線(具有 1 M 的電阻器) 標準母按扣包裹電阻器于一端，使用 #6 或 #8 絕緣環突緣于另一端 7.5.2 絕緣絞合電線最小是 22 AWG，適當長度是 610 呎 7.5.3 有些應用上13、，在接地端需交替擴充以利連接，這種電線是用于栓在桌 上，工作表面和地毯以接地來排泄電荷，并將電流設定在 5mA 以下 7.5.4 硬接地線(具 1 以下的阻抗) 最小為 18 AWG 的絕緣絞合線，端子是用焊接或無焊接的卷縮(CRIMP) 方式7.5.5 這種電線是用于電力的電氣測試或裝備設備沒有其它的接地方法(3支插 頭)時的接地, 一般性的目地也可用 7.5.6 腕帶更換卷電線(12 呎)，具香蕉插頭 7.6 消耗和傳導表面 1.消耗性的表面 電阻系數為 10的5次方10的9次方SQ 2.一般的消耗性工作表面都具有按扣，香蕉插作或其它方法以利接地線和腕帶連接 3.消耗性的桌墊可用 3M 的14、雙面黏著膠帶半固定于桌面上 4.桌墊的四角落都要有 10 mm 的公按扣，所有按扣對同一點電阻必須在20 以內，按扣至少要離開角落 2 吋 5.消耗性桌墊的內部傳導層的材料必須與按扣可靠地接觸 6.傳導系數小于 10的5次方SQ 的工作表面不可使用，因會產生高尖電 流而損壞零件， 7.7 高傳導地氈 1.電阻系數為 010的5次方SQ 2.長地氈時，每 20呎裝一10mm的公按扣，并用軟接地電線接地 3.高傳導熱塑性的瓶子、料盒和其它容器便可使用 4.傳導纖維地氈接地電線需要 1M 7.8 高傳導和抗靜電的柜、箱和盒 . 1.傳導性的容器不可用來儲存未包裝的電池或其它自有電力之產品,因它 們會15、產生分路效應 2.被動零件最少要用抗靜電的容器儲存 3.主動零件一定要用傳導的容器儲存 7.9 溫度計 1.靜電管制區內的相對濕度必須維持在 35 50% RH 7.10 不產生靜電和抗靜電的手套 1.棉花手套 2.抗靜電塑料手套 7.11 輕便送貨車(CART)、手推車(TROLLEY)、或類似設備 1.必須使用消耗性或傳導性材料 2.架子(隔板)可墊上消耗性材料 3.車子的每一架子必須互相導通 4.如因建造的關系而未連接在一起則需使用短路棒或電線加以連接 5.使用消耗性或導電性的長地氈時，車子必須接地 6.接地的方式可在車子的底部加一拖地煉條或裝置傳導性輪子7.12 結合 (BONDING16、) 1.盛裝靜電放電敏感零件的容器彼此之間的連接結合 2.包含從箱子內傳送產品到成品裝配線，從箱子傳送產品到另外一個箱子 ，從手推車上的箱子傳送到另一個手推車上，或其它類似的活動 3.結合的方法可使容器彼此直接接觸，或使用鱷魚夾式的電線或其它類似的連接器 4.結合電線也可以永久性的裝置在車上，有利于結合或在傳送產品之前 先連接于一消耗性的工作表面8.0 程序 8.1 一般性的靜電放電保護規則 1.所有電子材料和裝配品都應該把它們當作靜電放電敏感零件搬運,取攜 所有電子裝配品時，不可接觸到其電路，除非是制程上的需要 2.傳送靜電放電敏感零件必須在適當的容器內，不可接受任何未妥善包裝 的靜電放電敏17、感零件，而且僅可在靜電放電保護區內已接地的人員才可 打開靜電放電敏感零件的包裝 3.取攜靜電放電敏感零件時一定要帶適當接地的腕帶，需要高移動性的時 候，可使用傳導性的鞋跟帶(裸帶)和接地地氈 4.確保工作表是不會產生靜電的材料 5.確保靜電放電保護的設備已適當地連接及工能正常 8.2 采購 1.靜電放電敏感零件的交貨包裝(制造商,第三方和經銷商的來源要求) 來源的包裝一定要保護所制造的電子零件的腳和端子不在交貨和搬運的 情況下受到物體的損害，包裝有零件腳的端子產品的材料必須是非腐蝕 性，抗靜電和傳導性的，也不可影響到零件腳和端子的長期焊錫性 2.必須使用靜電放電保護材料來包裝電子零件，最好的保18、護方法是用不同 的材料當做內層和外層的包裹 3.傳導性材料是用來包裝主動電子零件，因它們除消耗性和無靜電產生的 功能外，尚有電場隔離的效果但未保護的電池或其它自有電力的產品 不可使用，因它會產生分路效應，靜電放電敏感零件,半成品,和裝配品 一定要用靜電隔離袋包裝 4.雙扁平電纜包裝(DIP)和其它類似和半導體一定要用內部高傳導性的套管包 裝和用傳導性或抗靜電的塞子防止移動，再用抗靜電材料圍繞起來 5.另一方法是用內部高傳導性的套管包裝和用傳導性或抗靜電的塞子防止 移動，再用傳導性,電場隔離材料圍繞起來 6.用來包裝一般形狀的靜電放電敏感零件的塑料成形容器一定要是高傳導 性材料，再用抗靜電料圍繞19、起來 7.其它不尋常形狀的靜電放電敏感零件的腳和端子可先擠進非腐蝕性、傳導 性泡沫中,再全部放進抗靜電袋8.電阻器,電容器,變壓器,電感器等被動零件只要用抗靜電材料圍繞起來即 可 9.表面黏著型的主動零件(如無引線芯片承載器.等)一定要放在傳導性的容 器，表面黏著型的被動零件(如芯片電阻器.等)可放在抗靜電或傳導性容 器內，對靜電放電愈敏感的零件愈要用高傳導性材料 10.所有會產生靜電的包裝材料,如袋子,薄膜,氣泡墊,泡沫盤子,管子,薄片 或其它等用一般塑料做的產品必須加以消除，只有傳導性或抗靜電性的 材料才可用來包裝靜電放電敏感的零件和裝配品 11.包裝靜電放電敏感電子零件的外層表面上必須貼20、上一靜電放電警告標簽 . 8.3 接收和倉儲 1.在靜電放電保護工作站，已軟接地的人員才可打開靜電放電敏感零件 的包裝. 2.收到一靜電放電敏感零件或裝配品，但未妥當地做好靜電放電的保護包 裝時，馬上通知負責采購人員，一定要請零件工程師來確認是否真的是 靜電放電敏感零件，如果該零件是屬于DOD-HDBK-263里的CLASS 1 或 CLASS 2 零件或其它類似工業零件，則必須退回供貨商并要求對策和交 換，假如不是CLASS 1 或 CLASS 2 的零件，則應適當地在包裝并通知 供貨商對策 3.非靜電放電敏感零件的包裝不可危害到靜電放電敏感零件，因此在生產 區域內不應該有會產生靜電的包裝材21、料，制造零件可維持一般聚乙烯袋 的包裝，但它們必須在各區域小心地與靜電放電敏感零件和裝配品加以 分離 印刷電路板也可維持其原來的未密封聚乙烯袋，紙箱不會產生靜電，故 對靜電放電敏感零件無威脅，抗靜電或傳導性的有蓋容器必須加以使用 4.所有包裝靜電放電敏感電子零件的外層表面上必須貼上一靜電放電警告 標簽 8.4 備料和發料 1.在靜電放電保護站上打開靜電放電敏感零件的包裝，再依套為單元重新 適當地包裝 2.盛套裝零件和靜電放電敏感零件的容器在發出倉庫之前一定要先貼上警 告標簽 3.在工廠內所有搬運過程中，靜電放電敏感零件必須保持在保護的包裝狀 態，直到它們到達一靜電放電保護工作站 4.避免損害起22、見，所有的靜電放電敏感零件應儲存在倉庫的特別地區，并 用傳導性,電場隔離袋來發主動零件，用抗靜電袋來發被動零件 5.用一般未密封的聚乙烯袋包裝的印刷線路板與靜電放電敏感零件用同一 容器發料之前，必須先用抗靜電袋包裝 6.不要使用膠帶來綁微電子零件的套管,印刷電路板,或其它的捆綁目的， 因為大部份的膠帶在撕去時會產生高靜電電荷，可使用橡膠帶,棉線,夾 子,大抗靜電袋,大隔離袋或類似的方法 8.5 工作區的準備 1.在靜電放電保護工作站里，所有的項目都要接地到同一電位，包括操作 員工作表面、地氈、工具、有蓋的箱子、料盒和靜電放電敏感零件和裝配 品，任何一項如有不同的電位便會對靜電放電敏感零件產生損23、害，有疑問 的地區則用靜電表測量，不合格時應立即對策 2.任何會接近靜電放電保護區的人員一定要接收訓練和通過靜電放電意識 訓練課程，訪客在進入一靜電放電保護區之前一定要適當地教導和由該 區受過訓練的人員陪同，靜電放電保護區必須在其周圍或入口(封閉室房間 時)的地板上貼上黃,黑交替的條紋膠帶 3.所有會產生電磁場的電力設備，其外殼一定要接地并用橡膠墊或用其它 相等材質來與消耗性工作表面隔離，一些 AC 或 DC 電力設備的塑料外 殼，如終端機、數字測試設備、收音機.等，用靜電表測試，如其靜電電 壓在 100 伏特以下，則不會造成危險 4.從靜電放電保護區清除所有會產生靜電的塑料材料(苯乙烯料盒,24、聚乙烯 袋和薄膜,尿烷泡沫,工作說明書的透明醋酸鹽封套.等)，并以抗靜電 或傳導性的材料取代 5.靜電放電區的相對濕度必須維持在 35 65%，此范圍可將在絕緣物上所 產生的靜電降至最小，同時使抗靜電處理的塑料材料維持其抗靜電特性 ，可在制造區的代表位置掛上相對濕度指示器加以監視 6.無法控制在此相對濕度范圍內的地區需要額外的預防如使用濕度產生器, 局部空氣游離器當作第二條防線 7.驗證工作桌面是否為保護工作桌面，完整的消耗性工作桌面可由接地電 線和腕帶連接點加以區別 8.驗證腕帶和消耗性工作桌面的適當連接，消耗性工作桌面必須使用一軟 接地電線連接到硬接地電線，腕帶一定要連接到工作表面的按扣或25、硬接 地或接地方塊 9.新的工作站設立后，一定要用靜電表來確認其靜電電荷在100伏特以下 10.在使用腕帶并不安全或移動的考慮時，可使用傳導墊和氈 ，用軟接地地線 連接傳導墊或氈到硬接地 11.使用傳導墊和氈時，便必須穿傳導性鞋子或裸帶 12.不可同時使用腕帶和裸帶因為它們是并連的會降低對人體保護的水平 13.從工作區清除一般的塑料和地氈，僅可使用天然豬毛做的刷子來清洗,被 覆.等，無論如何，決不可使用人造豬毛刷子于靜電放電敏感零件和裝 配品 8.6 設備的準備 1.利用接地式三插頭將 AC 電力測試設備的金屬外殼接地，或在外殼與硬接 地之間連接一條硬接地線 2.確保金屬外殼已接地的設備已用橡26、膠腳墊或相等材料和消耗性工作表面電 氣性的隔離 3.磁盤驅動器,終端機,監視器,磁帶設備.等快速傳送媒介物的設備，在操作時 會產生強大的靜電電荷，因此，在操作前一定要先將其外殼適當的接地 8.7 人員的準備 1.靜電防護衣袖必須比私人衣服長，必須完整的保留制造商的標簽以利求證 避免穿人造材料做的衣服，如耐龍,壓克力或聚酯等，因為它們在低濕 環靜下會產生高靜電電荷，最好是在清洗或干燥含有絲織品的人造纖維時 加入抗靜電軟化劑 2.取攜所有未保護的靜電放電敏感零件時，一定要操作員與消耗性工作表面 上的按扣(或接地)之間連接一腕帶，腕帶必須與操作員的裸皮膚直接接觸 3.使用傳導性地氈來排泄電荷的地方，27、便不必使用腕帶和消耗性工作表面， 但操作員必須穿兩個裸帶于兩個鞋子以適當的接地，傳導性的繩索必須平貼 才能與操作員的裸皮膚直接接觸，將腳放在凳子或椅子上，會影響地毯將 靜電電荷排泄到大地的效果 4.在所有靜電放電敏感零件的工作區和裝配過程中會拿到零件的腳和端子時 ，一定要帶 100% 棉手套,抗靜電手套或指套，赤裸的手指一定不可接觸 到欲焊接區，但可用金屬鑷子來攜取小零件 8.8 產品裝配的準備 在一靜電放電保護工作站理，將盛靜電放電敏感零件的保護包裝(如袋、盒、 箱.等)放在已接地的消耗性工作表面或其它已接地的表面來排泄包裝上殘 余的靜電電荷，然后小心的把零件放在消耗性工作表面或一直接放在工28、作表 面的適當抗靜電性或傳導性的容器,料盒或配料器 假如是使用金屬送貨車或類似材料的移動系統時，車體或箱子或容器本身一 定要先接地后才可移動所容之物8.9 產品裝配 1.按照工程指示在裝配區內裝零,組件 2.保持靜電放電敏感零件和裝配品于保護的包裝內，或消耗性工作表面 3.最后才裝最敏感的零,組件 4.在接觸零件腳之前，先將修剪,成型或彎零件腳的工具與消耗性工作表面 接觸 5.不用的時后，將工具放在消耗性工作表面或其它接地的表面 6.加熱槍,風扇和其它低速度的空氣吹風機并不會產生危險程度的電壓，故 可在各區域使用 8.10 產品測試 1.依工程指示、測試程序來測試 2.驗證測試設備是否接地 329、.盡可能由基板的金手指(邊緣連接器)來測試基板裝配品，避免使用探針或 測試靜電放電敏感零件的測試設備，在探針或測試引線接觸靜電放電敏感 零件和裝配品之前將探針或測試引線接地或將它們連接在一起 4.輸入信號加入之前先加入 DC 電壓，在電源操作之前先確保所有外殼已適 當地接地 5.電力存在時，不可從連接器或插座上移離零件或裝配品 6.不可使用三用電表上1的電阻值刻度來測試靜電放電敏感零件或裝配品 ，因為它會產生危險的順間大電流，必須使用高輸入阻抗的電表 7.在連接一電纜連接插頭于機板上的裝配插座之前和移開任何保護蓋,插頭 和插座外殼之前，一定要短暫的接觸，以排放電纜和機板之間的任何靜電 電荷 830、.11 產品包裝 靜電放電敏感零件和裝配品一定要 : 1.放在電場隔離袋內并適當地標示 2.放在密封的傳導性容器內 3.把零件腳和電路與高傳導性泡沫板接觸或相等的方法8.12 靜電放電保護材料和設備的清洗 定期清洗箱子和蓋子,容器,料盒,桌墊,地毯等以去除表面的污染物，一定要 用局部抗靜電清洗劑清洗，決不可用比異丙醇(ISOPROPYL ALCOHOL)或氟利昂 TMS(FREON TMS)還強的溶劑來清洗，清洗的周期依使用區域的清潔度標準而定，腕帶最好是用異丙醇(ISOPROPYL ALCOHOL)清洗，須要的話也可以用超音波槽清洗，不可在靜電放電保護設備上使用一般的蠟或含蠟的溶液8.13 31、靜電放電保護材料和設備的測試 1.每月初執行測試，各區的主管應指定專人負責該區內所有靜電放電保護站 的測試工作 大部份的測試工作不會中斷該站工作的進行，測試之前先目視確認所有項 目是否在堪用狀態，不良的設備一定要馬上更換，不堪用的項目應交由制 造工程部分析，測試合格的項目一定要有標示以利日常目視檢查 2.腕帶 : 將腕帶和卷電線當一裝配品，并用三用電表測試，測量腕帶內電阻器 到卷電線另一端的香蕉插頭，總電阻值應為 1M250K 3.軟接地線 用三用電表測量連接工作表面,地墊和地氈到大地的軟接地，其電阻值應為 1M250K 4.硬接地線 用三用電表測量任何硬接地線，其電阻值應小于20 5.接地方32、塊 用三用電表測量接地方塊其電阻值應小于20 6.消耗性工作表面 工作表面的材料必須滿足 ASTM-D257 的要求，其電阻系數應為10的5次方 10的9次方/SQ用百萬甌姆表(MEGOHMMETER)和探針測量表面電 阻系數，用三用表測量桌面上按扣與按扣之間的電阻值，此值應小于 20 在消耗性工作表面上不可使用蠟或含蠟的溶液，因它會增加絕緣度 7.傳導性地氈 地氈的材料必須符合 ASTM-D256 的要求，其電阻系數必須在 10的5次方 /SQ以下(用百萬奧姆表和探針測量之)在傳導性材料的表面上，不可使用蠟或含蠟的溶液，因它會增加絕緣度 8.傳導性容器 容器的材料必須符 ASTM-0091 33、的要求，其電阻系數要小于5000-CM，表 面電阻系數依ASTM-D257 或 MIL-P-82646 的規定應為 10 的5 次方SQ 以下(用百萬奧姆表和探針測量之) 9.焊錫和去錫設備 用三用表測量其尖部到電源在線接地插頭之間的電阻值，此值應小于2010.匯整靜電放電保護設備的規格 項 目 電 阻 值 -1 腕帶到插頭夾子 1M250K -2 工作桌面接地線到接地 1M250K -3 地毯接地線到接地 1M250K -4 設備外殼到接地 20 -5 接地方塊到接地 20 -6 工作桌面的按扣到按扣 20 -7 焊接頭到接地 20 9.0 質量保證規定 9.1 認證. 1.設備 : 承認的34、測試設備才可使用 2.人員 : 經過訓練并驗證具有足夠的知識和技術人員才可執行第八節所規 定的工作在靜電放電保護區內，工作人員一定要穿保護衣，取圾靜電放 電敏感零件和裝配品時一定要戴腕帶，腕帶一定要與赤裸的皮膚接觸并 連接到一消耗性工作表面上的按扣或接地方塊或接地 3.訓練 : 指定、新人、設計、制造、裝配、制程、檢驗、測試、包裝、修 理、重整、裝置、或維修靜電放電敏感零件和裝配品的人員一定要參加 靜電放電意識和適當的取攜作業的訓練和認證4.來賓 : 來賓一定要有人作陪，并盡可能不要進入靜電放電保護區，如要進入， 則需穿保護衣，如要接觸靜電放電敏感零件和裝配品時，則須戴腕帶 9.2 制程管制.35、 1.質量保證和生產主管一定要執行適當的監督，以符合本手冊的規定 2.每月初一定要測量腕帶、接地線、傳導性容器、桌面、工作表面、地氈 和電烙鐵頭的電阻 9.3 稽核. 1.質量保證部們一定要定期執行稽核工作，本手冊的規定事項都是稽核項 目，抽站測試并提出稽核報告給各制造處主管，所有稽核報告一定要保 存在質量保證部門的檔案里10.0 安全 10.1 接地危險 從不良設備和工作站而來的電氣危險，一定要讓所有人員銘記在心，為 了達到人員和產品的保護水平，對制程管制一定要堅持 10.2 安全責任 它是生產和產品保證主管，安全和醫護人員的共同責任11.0 人身用品發放和維護政策 11.1 腕帶的發放和維36、護政策 1.各區主管將提供每一位操作員一付腕帶，織物型式最好（共同尺寸） 2.織物帶依需要加以清洗 3.離職人員一定要交回腕帶，依其狀況決定是否可清洗后再發放使用，新進人員在訓練期間和上線作業之前也應依須要而發放 11.2 棉、抗靜電手套和指套的發放和維護政策 零件成型和手插件.等操作人員的手會接觸到焊接的零件腳和端子時，都 一定要戴棉手套、抗靜電手套或指套，因手指的油、酸和汗紋會降低零件腳和端子的焊錫性 指套和抗靜電手套是可報廢的，棉手套則應清洗，在不堪使用或成為臟的來源時才報廢 12.0 訓練 12.1 新人訓練 為新進人員作公司簡介時，每人一定要有一本靜電放電意識小手冊，以 便向他們解說37、公司當局對靜電放電防護的重視 12.2 在職訓練 1.新進人員進廠一個月內要訓練完畢 2.每半年到一年再訓練 3.保存訓練記錄 4.最好拍成錄像帶以利訓練 5.隨時留意新的研究報導，適時分發相關人員SD 概論一.前言 :現今已發覺微電子工業由于靜電放電 ESD(Static Electricity Discharge.)的問題,每年要損失幾百萬美元.二.靜電電荷的產生.靜電的產生,最容易者莫過于摩擦生電。其所產生的電荷稱為摩擦電荷。三.靜電電荷對微電子工業的影響.由靜電電荷所形成的主要問題是 : (1)微污染和 (2)ESD失效四.ESD 三種型式.就工業上發現,ESD基本上有三種型式,它們會38、引起ESD敏感的裝置的降質或損壞。它們是 :1.人體型式2.微電子器件帶電型式3.場感應型式五.在電子工作室的靜電電壓.發生在電子工作室的典型靜電電壓: 靜 電 電 壓靜電產生的方式相對濕度1020%相對濕度6590%經過地毯行走35,0001,500在乙烯塑料地板上行走12,000250工人在工作臺旁6,000100使用乙烯塑料封袋7,000600從工作臺取得的普通塑料袋20,0001,200有尿氨泡沫墊的工作椅18,0001,500六.半導體裝置的靜電敏感度. 裝置型式 靜電放電敏感度范圍(伏)VMOS.301800 MOSFET.100200 GaAsFET.100300 EPROM. 39、100 JFET.1407000 SAW.150500 OP AMP.1902500 CMOS.2503000 散粒(肖特基)二極管.3002500 薄片電阻(厚 / 細).3003000 雙向晶體管.3807000 ECL（發射極偶合邏輯電路）.5001500 SCR (可控珪).6801000 散粒(肖特基)晶體管-晶體管邏輯電路. 10002500七.潛伏性的ESD問題.八.靜電荷的消除.九.ESD控制程序的規范.十.ESD控制程序的檢測.在電子制造廠的不同場合中靜電控制裝置的典型應用:場所設備驗收倉庫裝配零件自動插入人工插入波形焊接線路板測試 /修理設備裝配包裝發貨現場維修離子發生器導電腕帶導電桌墊導電地墊導電鞋抗靜電外衣屏蔽袋導電海棉導電薄膜導電容器維修工具箱十一.結論 : ESD控制程序的益處是 : 1.提高生產率.2.減少現場故障.3.防止潛在的ESD損壞.4.節省可貴的生產時間.5.質量更優的產品.為了使程序更有效,需要有一個特別工作組. 這個工作組的任務是執行和檢測ESD控制程序.