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1、半導體公司無塵車間潔凈室施工管理制度編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: 10 無塵車間管理的目的半導體產品生產過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產工藝需要、保證產品質量、安全生產，必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設備、生產過程等進行控制。20 無塵車間管理的原則2.1 進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。2.2 操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動和動作；室內設備及裝修材料的選擇2、和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂葔m粒、微生物的產生、滯留、繁殖等。2.3 嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產工藝設備和工器具(工裝夾具)等。以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度等級。2.4 清掃、滅菌管理，對潔凈室內的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖。2.5 潔凈室環(huán)境控制的內容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。30 適用范圍 半導3、體公司所有潔凈生產區(qū)及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關生活用室等)、車間內管理區(qū)(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來新建、改建、擴建的潔凈廠房及其輔助用房。40 術語潔凈生產區(qū) 是潔凈廠房的主要部分，對潔凈級別有明確規(guī)定的區(qū)域。潔凈輔助間 是潔凈廠房不可缺少的必備房間。潔凈輔助間對潔凈廠房的平面關系密切，對潔凈廠房的建造帶來影響和投產后能否滿足產品生產的需要以及能否可靠地防止生產過程的污染或交叉污染至關重要。管理區(qū) 是潔凈廠房內的產品生產過程的生產管理、技術管理用房和必要的操作人員的休息、福利用房。設備區(qū) 即凈化空調系統(tǒng)、公用動力系統(tǒng)等用房，是潔凈廠房的重要組成部分。54、0 管理程序51 無塵車間潔凈室施工管理制度511 背景5111 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。5112 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。5113 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。512 責任與義務5121 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區(qū)域的每位工人有責任5、和義務理解并遵守潔凈建設規(guī)則和程序。5122 承包商負責執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區(qū)域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設備。5123 承包商建造區(qū)域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進行培訓，并維護被允許在此區(qū)域工作的人員身份認定和管理。5124 開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。 5125重復違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應商將被除名。6、513 草案細則潔凈室草案分為三部分，每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場地帶入臟物。5131第一部分 第一部分主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現(xiàn)場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應該保持適當?shù)母蓛簟，F(xiàn)場安全規(guī)則必須時刻遵守。 所有設備和材料必須從一個入口進入施工現(xiàn)場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。 施工現(xiàn)場內不允許吃東西，吸煙，喝酒。 每班結束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品。總之，整個施工現(xiàn)場每天必須保持干凈。5132第二部分 第二部分主要7、針對直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應商如果要進入潔凈區(qū)域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設備和材料的入口是經(jīng)過威世半導體(西安)有限公司管理人員同意的。 gridlines 1和2之間的通向成品倉庫的外門。 gridlines 15和16之間的通向原料倉庫的外門。 其它入口必須經(jīng)過潔凈工程承包商的書面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預留區(qū)域。進如潔凈區(qū)域之前，材料和設備不允許有臟物或由掉下，并且應該用干凈的干布擦拭干凈。 任何可能會造成污染的活動必須必須提前經(jīng)過潔凈工程承包商的批準。這包8、括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預防污染。 裝好的地板必須用PVC板包裝保護。 第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。 第二部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域必須每天吸塵。5133 第三部分 第三部分主要針對直到生產車間全部建成。氣體鼓風機將持續(xù)運行以維護房間的壓力要求。 進入的工人穿鞋套和工作服。 所有進入潔凈區(qū)域的材料，工具和設備要用IPA和水的混合物擦拭。 在第三部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域每天要用有過濾裝置的洗塵設備吸塵。514 潔凈安裝 必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。 各類部件如節(jié)氣閘，擴散體在進入施工現(xiàn)場時應潔凈并且拆掉包裝。內部表面應9、該用IPA和水的混合物擦拭。 潔凈安裝過程中，必須密切關注所采取的潔凈措施的可靠程度，對于隔離圍護設施一定要作到及時發(fā)現(xiàn)、立即糾正。515 最后潔凈 潔凈區(qū)域的所有安裝完成后，要進行最后潔凈。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應從上到下，最后是地面。 最后潔凈完成后，gridline B東邊通過的區(qū)域將是唯一進入潔凈室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。 最后潔凈完成后，任何進入的人都必須通過威世半導體(西安)有限公司現(xiàn)場經(jīng)理的批準。5.1.6 設備、物品進入潔凈室規(guī)定52 無塵車間潔凈度定期檢測制度/測量標準5.2.1 為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須10、定期對潔凈室內的潔凈度進行檢測。5.2.2 檢測測試設備：激光粒子記數(shù)器5.2.3 檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區(qū)域進行一次檢測5.2.4 檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試5.2.5 數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測的結果輸入監(jiān)控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。5.2.6 各潔凈區(qū)域潔凈級別標準：按照半導體公司能源管理標準要求執(zhí)行。區(qū)域、系統(tǒng)名稱潔凈等級標準相當于ISO級別等效于GB級別K-1系統(tǒng) 劃片區(qū)域靜態(tài)1萬級 K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬級 CLASS 7CLASS 8CLASS 7CLASS 8K-2系統(tǒng) 包封區(qū)域靜態(tài)30萬級 C11、LASS 83CLASS 83K-3系統(tǒng) 搪錫區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 83CLASS 83K-4系統(tǒng) 測試區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 83CLASS 83K-8系統(tǒng) 電鍍區(qū)域靜態(tài)30萬級 CLASS 83CLASS 83現(xiàn)有其他空調系統(tǒng) 舒適性空調系統(tǒng)，無潔凈要求 Not ApplicableNot Applicable5.2.7 潔凈室用凈化空調系統(tǒng)及設備的維護管理與相應的操作規(guī)程、維修制度等（包括凈化空調系統(tǒng)和潔凈室相關的公用動力系統(tǒng)的設備、管線等管理維護，如，空氣過濾器、空調機、局部凈化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等）執(zhí)行威世半導體(西安)有限公司廠務部相12、關SOP文件。5.2.8 參考文件 FSD-SOP-01 供電操作指導書及規(guī)范制度 FSD-SOP-4-1 AHU系統(tǒng)操作指導書 FSD-SOP-4-2 洗氣塔操作指導書 FSD-SOP-4-3 鍋爐操作指導書 FSD-SOP-4-4 制冷機操作指導書 FSD-SOP-06 廠務部安全操作規(guī)程 FSD-SOP-07 設備維護保養(yǎng)流程 FSD-SOP-08 消防系統(tǒng)操作指導書 FSD-SOP-12 廠務部運行管理制度 FSD-SOP-13 市政動力能源中斷緊急應變計劃 FSD-SOP-20 廠務核心機組應急切換操作指導書 ATD1210C 能源管理標準 JVP1301C 公共設施管理規(guī)定53 潔13、凈室人員管理制度531 潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責、潔凈室人員的準入制度、人員培訓教育規(guī)定、進入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。532 人員凈化與進入5.3.2.1 在潔凈廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動，會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。5.3.2.2 對于高級別潔凈區(qū)域，應嚴格控制進入人員數(shù)量，并規(guī)范進行二次更衣。5.3.2.3 要獲得生產環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。5.3.2.4 為保持潔凈室空氣潔凈度，應盡量減少進入潔凈室人員帶入的污染物。所有進人14、潔凈室的人員必須嚴格地按規(guī)定程序進行人身凈化。5.3.2.5 個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應的脫衣順序脫衣，放在規(guī)定的衣柜內。5.3.2.6 進入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。5.3.2.7 若公司后期發(fā)展需要更高潔凈級別要求的潔凈區(qū)域（指高于ISO Class7級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。5.3.2.8 凡是交叉污染的媒介，要經(jīng)常洗滌。不要用手觸及高凈化產品和高凈化包裝材料等。要按規(guī)定戴手套和指套。53315、 潔凈室工作人員須知5.3.3.1 進入潔凈室的人員應嚴格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈室內必須按規(guī)定著衣、戴帽、換鞋。5.3.3.2 進入潔凈級別1萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域，必須至少經(jīng)過二次更衣。可先從一次更衣室進入，進行更鞋、脫外衣、換潔凈服、戴口罩、帽子（或潔凈頭套）后，經(jīng)過走廊進入二次更衣室，進行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子，確認更換完畢后，進入風淋室進行風淋后，才能進入萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域。5.3.3.3 嚴禁不通過風淋而直接走旁通門進入潔凈室。旁通門只允許人員出到潔凈間外以及發(fā)生緊急情況時的進出。5.3.3.3.1風淋室使用須知A.16、 風淋室是工作人員進入凈化區(qū)域前進行人身凈化的專用設備，它能將人體表面吸附著的塵埃用高速氣流吹去，使工作人員不帶污染源進入凈化區(qū)域，并能使凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域起到氣閘作用。B. 風淋室設定和狀態(tài)：風淋室在投入使用前必須完成調試和設定，使之保持自動風淋狀態(tài)。C. 風淋室使用 使用者無需按任何鍵即可開門進入風淋室內，人數(shù)每次限定三人,把門關好即可自動風淋,風淋時旋轉身體360度, 等待風機停止工作以后蜂鳴響，內門開鎖，用戶出風淋室。 按“照明開”鍵即可打開室內照明燈。 風淋室的微電腦對所做設定有記憶功能,關閉風淋室電源再次打開電源時風淋室處于上次操作的最后設定狀態(tài)。 禁止一線使用者對設備的數(shù)值設定17、進行更改，數(shù)據(jù)更改必須由專業(yè)的管理人員進行。 禁止使用者野蠻對風淋室的門（紅外電控鎖）強行推拉而損壞設備。 風淋設備若因使用不當而損壞，使用部門應據(jù)實反映損壞原因，并立即報修。 一線員工在使用過程中發(fā)現(xiàn)狀態(tài)異常，應立即通知主管部門進行處理；并停止使用風淋室。D. 風淋室正常/異常狀態(tài)的界定：1. 風淋室正常初始化自檢：打開電源操作面板LED數(shù)碼顯示時間點亮，同時電腦控制器做一次檢測，二門是否關閉，有門開著則等待關門，如果二門都關閉則自動進入正常工作狀態(tài)。2. 正常工作狀態(tài)a) 如果系統(tǒng)處于不工作狀態(tài)：按電源開關鍵使系統(tǒng)處于工作狀態(tài)，LED被點亮。b) 按照明開/關則風淋室燈被點亮或熄滅，人員可18、根據(jù)需要循環(huán)選擇。c) 系統(tǒng)處于正常等待工作狀態(tài)時，風淋室的兩扇門處于關閉未鎖狀態(tài)。3. 異常狀態(tài)：噴嘴出現(xiàn)微弱風速、門不能正常關閉或開啟、電源操作面板無顯示。5.3.3.3 .2 進出風淋室流程機理： 進入：當外門(紅外電控鎖)被打開時，內門（紅外電控鎖）自動閉鎖。如果用戶進入風淋室，經(jīng)過紅外探頭，風機將自動工作一定時間，此時內外門均閉鎖，風機停止工作以后蜂鳴響，內門開鎖，用戶出風淋室。開門、關門整個過程結束。 退出：當內門被打開時外門自動閉鎖，用戶關門后，則內外門均開鎖，用戶可以從任意門出風淋室。開門、關門，整個過程結束。5.3.3.4 作業(yè)人員在潔凈室內工作時，動作要輕。嚴格執(zhí)行操作規(guī)程19、，不允許跑跳、打鬧及喊叫，不作不必要的動作，不作易發(fā)塵和大幅度的動作。5.3.3.5 作業(yè)人員在潔凈室內工作時，盡量避免人員聚集現(xiàn)象。若個別工位無特殊協(xié)作需求，其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。5.3.3.6 為不干擾氣流，在作業(yè)區(qū)上游側不應放物品，生產操作一般應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。5.3.3.7 不允許將與生產無關和容易產塵的物品帶入潔凈室，嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。5.3.3.8 患有以下幾種疾病的員工是不宜進入潔凈室的：呼吸系統(tǒng)疾病（如嚴重的感冒咳嗽等，患者除了會傳播病菌、病毒外，還會因咳嗽而產生大量的污濁顆粒混入潔凈的空氣20、中）、皮膚疾病（如明顯脫皮、掉皮屑的皮炎等）；針對上述情形若采取了可靠的額外人凈措施時是可以進入潔凈室的。534 潔凈室人員退出時應注意的事項5.3.4.1 為了防止再次進入和往返作業(yè)對潔凈室造成交叉污染按規(guī)定的順序退出潔凈室。5.3.4.2 潔凈室人員在作業(yè)中途和作業(yè)完畢在退出到更衣區(qū)之前不得脫掉潔凈工作服，進入更衣室先脫潔凈室用鞋，放在規(guī)定的場所。5.3.4.3 必要時脫鞋前洗手，脫鞋后再摘掉帽子，放在規(guī)定處。5.3.4.4 脫潔凈工作服時不要觸及地板、桌子和其他物品，對于潔凈服一般由下至上脫（由下至上是指先脫鞋、再脫衣、再去除帽子和口罩），用衣架掛在規(guī)定的處所。5.3.4.5 脫去潔凈工21、作服以后，若需再進潔凈室時，仍需按進入潔凈室的順序進行人凈。5.3.4.6 退出10K及其以下級別潔凈室時不需要經(jīng)過空氣吹淋。直接走旁通門退出10K潔凈室是允許的。5.3.4.7 不能穿潔凈工作服上廁所及進入動力設備間、倉庫等非潔凈區(qū)域。54潔凈服管理制度潔凈服的管理包括：潔凈服采購和制作(含材料選擇)、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。541 潔凈服采購和制作5.4.1.1 潔凈服必須選用由專業(yè)廠家制作的合格產品。5.4.1.2 潔凈服必須滿足工藝對潔凈/防靜電等的全部要求。542 潔凈工作服使用管理基本原則5.4.2.1 人員進入潔凈室首先由個人潔凈工作服專用柜或收納處取出潔凈工作服，若22、潔凈工作服尚未開封，需仔細切開包裝拿出服裝，不沾帶包裝料碎屑。5.4.2.2 穿衣時，不要使衣服觸及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和褲腿下擺，姿勢要保持直立，按從上至下順序穿衣戴帽穿衣（分體潔凈服先上衣后褲子）穿鞋，必要時須設置專用的穿衣臺。5.4.2.3 戴兜帽和帽子時要把頭發(fā)全部遮住，頭部緊緊地包在兜帽內。5.4.2.4 若不穿潔凈鞋而采取代用鞋套的臨時措施，穿鞋套時要把褲腿下擺緊緊地裹在鞋套內。5.4.2.5 在不違反潔服使用管理基本原則前提下，生產線可細化出實用的和可操作性強的具體規(guī)定。543 潔凈服的清洗規(guī)定5.4.3.1 潔凈服的清洗若采取外協(xié)形式，清洗公司應選取經(jīng)考察合格的23、專業(yè)清洗公司。5.4.3.2 潔凈服的清洗液不得對潔凈服的性能有影響；潔凈服的面料清洗后不允許有脫絲、掉渣。5.4.3.3 清洗后的衣物防靜電織物性能不應被破壞，若被破壞，應及時報廢或降級使用，降級使用應有明顯標記且禁止在有防靜電要求的區(qū)域內使用。5.4.3.4 清洗完成的潔凈服應進行可靠包裝后運送及存放，避免與外界的交叉污染。55 潔凈室物流/潔凈室內設備及工器具管理制度551 物流管理包括：進入潔凈室的物料準入制度，物料的清理和清掃規(guī)定、廢棄物管理制度等。5.5.1.1 為防止污染物帶入潔凈室(區(qū))，所有送入潔凈室(區(qū))的各種物料、原輔料、設備、工器具包裝材料等均需按要求進行外包裝清理、吹24、凈，有效地清除外表面的微粒。5.5.1.2 在潔凈廠房內根據(jù)空氣潔凈度等級、產品生產的要求設置必要的物料凈化設施，包括外包裝清理室，氣閘室或傳遞窗(柜)等。5.5.1.3 物料在外包裝清理室拆除外包裝、裝入潔凈容器內或當外包裝不能拆除時，對其擦拭清除塵土或采用其他清除污染物的方式對設備、容器工具進行清潔處理，并使清理前后的物料以一定標志予以區(qū)別。5.5.1.4 潔凈區(qū)域的專用周轉小車、周轉盒必須有清晰的標志，與非潔凈周轉小車有明顯的區(qū)分標識，禁止混用。5.5.1.5 對清理外包裝后的物料應經(jīng)過氣閘室或傳遞窗(柜)才能進入潔凈室(區(qū))，氣閘室或傳遞窗(柜)的作用與人員凈化用氣閘室相似，用于保持潔25、凈室的空氣潔凈度和潔凈室內必須的壓力。5.5.1.6 傳遞窗(柜)應滿足如下要求。兩側門上設窗，能看見內部和兩側；確保兩側門不能同時開啟（可通過兩側門上設連鎖裝置或通過嚴格管理來實現(xiàn)）；傳遞窗內尺寸可適應搬運物料的大小及重量，氣密性好并有必要的強度；根據(jù)用途的不同可設置室內燈、殺菌設施。552 潔凈室內設備及工器具管理包括：設備及工器具的搬入管理，清掃和清潔規(guī)定，設備及工器具的退出管理等。5.5.2.1 工藝設備進入潔凈區(qū)域前，應事先明確運輸路線，清除設備運輸通道上的障礙物，包括對活動潔凈圍護板的拆卸，并作好隔離防護措施，盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境；若設備搬入可能對生產造成污染，應提前安排局26、部停產配合設備搬入。5.5.2.2 隔離防護的設施必須確保嚴密可靠，能夠有效控制污染物的擴散，并注意監(jiān)控其完好狀態(tài)，若有破損，及時修補使嚴密完好。5.5.2.3 設備進入潔凈區(qū)域前，必須先在緩沖區(qū)（或緩沖地帶）進行徹底的清潔和擦拭。5.5.2.4 在進行設備、材料搬運的過程中，要嚴格進行潔凈控制，設備進車間前注意在潔凈緩沖區(qū)（或臨時緩沖走廊）的相關清潔工作。尤其注意不得穿潔凈服經(jīng)設備、材料通道門到戶外，如此經(jīng)過交叉污染過的衣服、鞋套、帽子再次無任何措施又進入潔凈室，會造成潔凈室交叉污染。5.5.2.5 在設備、材料搬運期間應盡可能避免讓步接受可能出現(xiàn)的環(huán)境擾動，對人員、設備、材料凈化管制應嚴格27、進行控制。一定要嚴格控制污染物擴散，尤其是交叉污染的現(xiàn)象，否則會有高效過濾器（HEPA）的污染損失，以及額外的潔凈清理費用。5.5.2.6 如下圖所示，在潔凈室批準入口處設置潔凈緩沖/管制間，任何進入潔凈室內的物品必須經(jīng)過緩沖間。5.5.2.7 物品進入潔凈室的流程。室外預清潔傳入緩沖區(qū)緩沖區(qū)內最終清潔傳入潔凈室內 首先，室外、緩沖間（或臨時緩沖走廊）、潔凈室內各有一支搬運組（共三組）候命，這三組人員根據(jù)各自的環(huán)境身著不同的服裝：室外身著普通工作服，緩沖間內身著清潔的服裝并穿戴鞋套，潔凈室內身著完整的潔凈服，帶有口罩和手套等，這三組人互不能進入其它人的工作區(qū)域。 當有設備、物品需要運輸時，首先28、室外組人員對物品進行預清潔，然后打開緩沖間室外側的門（或設備預留進出外門），將物品傳入緩沖區(qū)。必須保證，在打開緩沖間室外側門（或設備預留進出外門）時，潔凈室側的門處于關閉狀態(tài)。 緩沖區(qū)（或臨時緩沖走廊）的那組人員對物品進行最終的清潔，并用干凈的潔凈布檢測合格后，打開潔凈室側的門，將物品傳入潔凈室內。如此才規(guī)范的完成了物品傳送和清潔的過程。5.5.2.8 設備搬入完成并就位后，立即清理設備區(qū)域的雜物、拆除隔離防護措施、恢復活動潔凈圍護板，并對設備搬入?yún)^(qū)域及附近區(qū)域進行徹底的清掃和清潔，使?jié)M足潔凈。5.5.2.9 拆除隔離防護措施應注意控制避免交叉污染，恢復活動潔凈圍護板應保證圍護結構的密閉性，密29、封壓條要保證有效密封，膠密縫應恢復嚴密平整。5.5.2.10 小型工器具搬入管理需要滿足物流管理要求。5.5.2.11 大型工器具搬入管理可參照工藝設備搬入管理要求執(zhí)行。5.5.2.12 設備本身的清掃和清潔由生產部門及保養(yǎng)部門進行規(guī)定的編制及執(zhí)行，但其可靠性必須滿足潔凈要求。5.5.2.13 設備和大型工器具的退出與搬入管理類似，也應事先明確運輸路線，清除設備運輸通道上的障礙物，包括對活動潔凈圍護板的拆卸，并作好隔離防護措施，盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境；若設備退出可能對生產造成污染，應提前安排局部停產配合設備退出。5.5.2.14 設備和大型工器具退出后，立即清理設備區(qū)域的雜物、拆除臨時隔30、離防護措施、恢復活動潔凈圍護板，并對設備退出區(qū)域及附近區(qū)域進行徹底的清掃和清潔，使?jié)M足潔凈。56 潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度561潔凈車間及潔凈車間走廊清潔操作程序見下表：561-（A）潔凈車間清潔操作程序工具吸塵器、防靜電塵推、長軟管、小毛刷、簸箕、防靜電塵推布頭、伸縮桿、梯子、防靜電去塵布耗材防靜電去塵劑、防靜電清潔劑。清潔部位1、 車間墻；2、 門窗、文件柜、地面具體操作方法1、 用伸縮桿配合去塵布，自上而下，進行墻體清潔，對污染較重的局部用去塵布沾取少量純防靜電清潔劑擦 ，用去塵布揩拭干凈。2、 用伸縮桿不方便的局部，應用梯子按同上的操作方法清潔墻面（如柜子的上方）。3、 墻面清潔31、完畢后，用吸塵器加軟管吸取車間地面的粉塵，吸塵器應置車間的走廊上，軟管進車間，吸塵扒頭應從左到右，先遠后近的區(qū)域進行吸塵，吸塵的區(qū)域不能有間隔，以免漏吸（換鞋套）。4、 吸塵完畢后，用塵推按照吸塵的操作方法進行，局部污染較重的地方應用去塵布沾取少量純防靜電去塵劑，用濕去塵布清潔，然后用干防靜電去塵布揩干。5、 門窗內側、柜子等附件的清潔用去塵布配合防靜電清潔劑先上后下進行清理。6、 整理工具，定期將吸塵器塵袋更換（地點：車間外）。7、 車間內須回收的廢料放置在防靜電車上，從車間西門運至成品庫門口（通知外圍保潔員接應），并分類集中至成品庫內。8、 車間垃圾具體清理程序見后附文件。備注以上所用工具32、及耗材均應符合威世公司要求規(guī)定。561-（B）潔凈車間走廊操作程序工具防靜電塵推、擦地機、吸水器、長軟管、掃帚、梯子、防靜電去塵布、防靜電塵推布頭耗材防靜電蠟、防靜電清潔劑、防靜電去塵劑清潔部位1、墻面；2、門窗；3、消防設施；4、地面具體操作方法1、A)用伸縮桿配合去塵布，自上而下，由左向右，進行墻體清潔，對污染較重的局部用純防靜電清潔劑，用去塵布揩拭干凈。 B)用伸縮桿不方便的局部，應用梯子按同上的操作方法清潔墻面；對于石膏墻墻體用吸塵器自上而下吸取浮塵。2、用去潮塵布配合防靜電清潔劑先上后下，由左至右進行清理。3、用無塵布由上側、外側及內面全部擦拭干凈，整理好消防設備并檢查有無損壞，完好33、后把門關閉；4、用防靜電塵推由一側，依次推塵清潔。打蠟程序用起蠟水先行起蠟，用吸水機吸凈殘蠟，用清潔拖布脫水后拖凈地面，等地面徹底風干，再打防靜電地板蠟（具體方法和步驟詳見562條）。備注以上所用工具及耗材均應符合公司要求規(guī)定。正在清潔的區(qū)域應設置標志牌，且清潔工作不得與威世員工的正常工作沖突。562 地面打蠟的方法和程序5621 需要準備的機器和工具、清潔劑： 洗地機；吸塵吸水機；拋光機；大面積作業(yè)需配備自動洗地機 拖把、蠟拖、拖把扭干器、水推 除蠟劑、中性多功能清潔劑 除蠟墊（黑色）、清潔墊（紅色、白色）、拋光墊（白色）5622 如果地面已經(jīng)打過蠟，且蠟面已失去光澤或者已經(jīng)磨損出現(xiàn)斑駁和脫34、落，在打蠟前就需要對潔凈室地面先進行除蠟。除蠟的方法及流程如下：用拖把將除蠟劑均勻涂在蠟的表面，作用5分鐘后看到乳白色泡沫越來越多，就可以用裝有除蠟墊的洗地機清洗地面用洗地機清洗地面直至看不到蠟層，如果蠟層較厚，一次可能除不干凈，需要再用除蠟劑除第二次，用吸水機將水吸干用拖把和清水將地面拖試干凈，一定要多拖拭幾遍，確保地面不再含有除蠟劑的殘液，以免影響重新打蠟的效果5623 如果地面沒有打過蠟，可直接用兌有多功能清潔劑的溶液（按1：40的比例添加），用裝有洗地墊的洗地機清洗地面，然后將地面拖拭干凈，待地面完全干燥后開始打蠟。5624 打蠟的程序準備：將適量的封地蠟倒入拖把扭干器中，將蠟拖用水濕35、潤并扭干。按照由邊向內由里而外的原則，讓蠟拖按形運行，注意蠟拖每次沾蠟不可太多也不可太少，均勻涂抹，不要漏抹。30分鐘后確認安全干燥后再按同樣的做法打面蠟2遍。干燥的標準：不沾手，不粘腳。完全干燥后可進入拋光的程序：應選擇轉速1500轉以上的拋光機和20#白色拋光墊進行拋光，拋光時要慢慢運行，拋光后此時的亮度沒有達到最亮，24小時后再做一次拋光其亮度可達到90。563 潔凈車間垃圾清理程序 保潔人員在外運潔凈區(qū)內的垃圾前，通知保安人員，在保安人員的監(jiān)督下實施將潔凈區(qū)內的垃圾外運的操作。 車間內的保潔員從車間內把裝有廢料的垃圾桶放置專用防靜電車，從車間西門運至原材料庫門口。 將廢料傾倒至原材料庫36、門口的臨時垃圾站的垃圾桶內。 通知外圍保潔員接應。（注：每天早上8點清倒一次，下午4點清倒一次） 外圍保潔員將車間內的垃圾桶拉出原材料庫內側門，將垃圾清倒入已準備好的周轉垃圾桶內。 車間內的垃圾桶重新進入車間內，必須清潔干凈后（包括垃圾桶底部車輪），再放回指定位置。 外圍保潔員把周轉垃圾桶運至車間外的垃圾站進行清理。 潔凈車間垃圾清理注意事項& 需傾倒垃圾時，原材料庫內門與外門不能同時打開。& 外圍人員不能進入車間，車間人員不能走出室外。& 車子不能里外穿行，只能倒運車箱。564 潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度參考文件：負責清潔服務的部門，應根據(jù)公司實際情況制定清潔服務計劃，明確具體的清潔內容、周期、頻次以及對應質量標準。本文件未作細節(jié)描述處，可執(zhí)行文件FSD-SOP-19 清潔服務內容及質量標準及FSD-SOP-21 清潔工作化學用品管理規(guī)定要求。57 潔凈室潔凈室安全管理潔凈室安全管理，已經(jīng)包括在FSD-SOP-8-2 消防火警處理規(guī)程內，需要嚴格執(zhí)行。