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1、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于 65dB（A） ，非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于 60dB（A） 。1 按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；5.4.2 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。5.5.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；2 對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的 20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；3 傳輸易燃、自燃化學(xué)2、品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。6.2.1 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。6.2.6 在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50073 的有關(guān)規(guī)定。6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定;1每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50073 的有關(guān)規(guī)定2安全出口應(yīng)分散布置,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB 50016 3、的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟,并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗;3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于 0.01%obs/m 的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第 2 款規(guī)定的安全疏散距離的 1.5 倍。注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于 1500mm1850mm 的 TFT-LCD 廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于 0.02 人/，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于 120m。6.2.8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50073的有關(guān)規(guī)定；2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。6.2.9 潔凈廠房?jī)?nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰