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1、微電子公司面板廠VAS崗位真空貼合機臺生產作業指導書編 制： 審 核： 批 準： 版 本 號: ESZAQDGF001 編 制： 審 核: 批 準： 發 布： 二XX年X月1 目的 指導和規范真空貼合機臺生產作業，以保證生產的順利進行。2 適用范圍 適用于xxxx制造中心面板廠ODF VAS崗位員工3 定義 （1） VAS；真空貼合系統 Vacuum Assembly System的簡寫（2） EMO：緊急停止.（3） RUN：啟動鍵.（4） Alarm：警報.（5） System：系統.（6） T/P：Touch Panel，觸摸式操作屏.（7） Recipe：程序。4、 操作步驟：操作步驟2、具體說明注意事項1操作前準備2 操作步驟3 操作完成后1.1 Recipe選擇1.1.1點擊PC軟件畫面右上角的“Show Menu”如圖1-1紅框所示。 圖1-11.1.2選擇Recipe Setting，如圖1-2紅圈所示。 圖1-21.1.3在彈出對話框中輸入密碼，根據工藝卡選擇對應得Recipe，如圖1-3所示。 圖1-31.1.4點擊Change Recipe，在界面右上角中確認當前Recipe是否已更改正確，確認無誤后點擊EXIT退出。 圖1-4 1.1.6設備日常點檢 對設備各參數進行點檢，點檢記錄填寫到設備維護保養記錄表（日），若數值不在點檢范圍內，通知工程師處理。2.1原點復3、歸2.1.1 在Touch Panel根目錄中點擊 “Run ”。如圖2-1紅圈所示： 圖 2-1 2.1.2選擇“Init”選項。進入如下2-2界面。圖2-2 2.1.3點擊“ Mode” 按鈕，選擇Auto模式，按“ Origin”，使機臺完成原點復歸。2.2機臺自動運轉2.2.1如圖2-3所示選擇“Auto Monitor”選項。 圖 2-3 2.2.2點擊Touch Panel下方的START按鈕，機臺左上角顯示為“Run Process”。3.1設備停止 3.1.1設備中有基板時，按下Touch Panel下方的stop，設備做完當前動作后停止。 3.1.2設備中有基板時，按下Tou4、ch Panel上的Cycle stop，設備做完當片基板制程并排出后即停止，不再接收新的基板。 3.1.2設備中無基板時，按下Touch Panel下方的stop或Touch Panel上的Cycle stop設備均會停止自動運行。Origin閃爍說明在動作中，穩定在黃色后說明動作已完成只有在Auto Monitor界面下設備才能進入自動運行狀態。只有在Press前Cycle stop才有效設備內不能有安全支柱，Cleaning棒等物品5 異常處理：5.1報警常規處理流程：5.1.1報警處理流程圖參考1.2參考1.3 圖 5-1 5.1.2查看報警內容5.1.2.1 VAS自動運轉步驟如下圖5、，當某一步驟條件不滿足時，Alarm發生 圖 5-2 5.1.2.2 Alarm發生后設備會發出報警音樂提醒操作者注意，同時設備狀態指示燈變成紅色，Touch Panel畫面會彈出對話框，顯示報警內容。 圖 5-3 5.1.2.3也可以在根目錄下點擊Error查看報警記錄，操作人員發現報警以后，要仔細閱讀報警內容，以明確報警原因。 圖 5-45.1.3觀察設備狀態5.1.3.1確認機臺內基板的狀態。5.1.3.2 Robot手臂的位置，設備之間通信狀況等。5.1.3.3 確認此時操作是否安全。5.1.4解除Alarm 5.1.4.1根據具體的原因采取對應的操作，使不滿足的條件得到滿足，讓機臺正6、常完成動作。注意：對不知如何處理以及操作后不知會有何種后果的情況，一律不許操作，需立即與當班工程師聯絡詢問處理方法。5.2對位異常處理流程5.2.1“粗Mark檢出ERR”、“微Mark檢出ERR”、“判定Mark檢出ERR”的處置流程圖如下: 圖 5-55.2.2對位報警時Touch Panel會彈出如下對話框 圖 5-6按下此鍵后，不論實際 手動對位的結果如何， 設備都認為是OK的 其中， Manual Align:在Inching下對mark的位置進行手動對位。對好后再進行Manual Align OK Retry操作，如下圖。按下此鍵后，將對位步驟 跳過，不做對位直接照射 手動調節至 7、Mark清晰顯 示后按下此鍵，設備會 再做一次自動對位確認 圖 5-7 Mark Save: 在PC上對Mark進行登錄處理。 Retry:重新再做一次對位動作。 Stop: 退出自動運轉注意：手動對位禁止觸按“Align Invalid”與“Manual Align OK”按鍵，只允許按下“Manual Align OK Retry”按鍵5.3 Unmatch報警處理流程5.3.1 Unmatch報警處理流程圖 圖 5-85.4 機臺發生掉片或破片的處理流程5.4.1要立即將機臺停止，通知設備擔當工程師處理。5.5基板排出超時處理5.5.1基板排出超時處理流程圖 圖 5-95.6其它異常的處8、理5.6.1機臺動作異常 5.6.1.1機臺運行過程中如果出現異常動作，可能對人員，產品或設備造成損害時，要立即按下EMO將機臺停止. 5.6.2制品發生不合格時5.6.2.1停止機臺，通知工程師，詢問在制品的處理方法。詳細記錄基板ID、發生時間、所發生異常的信息。 注意：在解決問題的同時要注意找到問題發生的根本原因，例如當制品因機臺內有異物而造成不良時，要仔細確認異物的成分，以確認其發生源。基板在此工序停滯時間稍長便會造成大量不良，所以發生不知如何解決的問題時要立即聯系工程師詢問對策。6 安全環境注意事項 6.1 無特殊情況，Pump應始終處于ON的狀態，設備出故障需要重新啟動時，要先將Pu9、mp關閉，再切斷電源。 6.2 禁止觸碰帶電元件，否則可能會發生觸電。 6.3安全支柱比較重，在使用時要注意安全，防止在轉移時從手脫落對人或對設備造成損傷。另外安全支柱是專門用于對真空貼合設備進行定盤清掃和維護的安全保障工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場合使用。 6.4 Cleaning棒是專門用于對真空貼合設備定盤清掃的工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場合使用。 6.5設備的Interlock取消操作非常危險，取消之后設備本身的安全限制將全部失效，有可能對人員及機臺造成嚴重傷害。只有設備擔當工程師在有維護保養的時候才能進行此操作，其他任何人員不可進行Interlock取消操作；若有保護作用的Sensor失效、帶電部件損壞或線路老化時及時通知工程師進行更換。 6.6禁止酒后上班、疲勞作業 、帶病工作，按規定進行著裝穿戴以免引發傷害。 6.7對設備狀況不了解時禁止隨意進行相關操作以免引發傷害。 6.8禁止觸按機臺發熱部分。 6.10清理玻璃碎片時要佩帶乳膠手套，以防手部被劃傷；用吸塵器吸取碎渣時要帶上護目眼睛，防止碎渣賤入眼內。7 相關表格： 7.1 設備維護保養記錄表（日）