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電子工業潔凈廠房設計規范 (2)(5頁).docx

資源ID：383092 資源大小：16.43KB 全文頁數：5頁
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電子工業潔凈廠房設計規范 (2)(5頁).docx

1、電子工業潔凈廠房設計規范3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區）的的噪聲級（空態）不應大于 65dB（A），非單向流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于 60dB（A）。1 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；5.4.2 物料凈化用室與潔凈室（區）之間應設置氣閘室或傳遞窗。5.5.6潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的 20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；3 傳輸易燃、自燃化學

2、品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。6.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。6.2.6 在綜合性廠房的一個防火分區內，凈生產區域與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行國家標準潔凈廠房設計規范GB 50073 的有關規定。6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定;1每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目,應符合現行國家標準潔凈廠房設計規范GB 50073 的有關規定2安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現行國家標準建筑設計防火規范GB 50016

3、的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;3丙類生產的電子工業潔凈廠房,在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于 0.01%obs/m 的高靈敏度早期火災報警探測系統后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第 2 款規定的安全疏散距離的 1.5 倍。注：對于玻璃基板尺寸大于 1500mm1850mm 的 TFT-LCD 廠房，且潔凈生產區人員密度小于 0.02 人/，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于 120m。6.2.8 潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規定：1 潔凈區各層專用消防口的設計，應符合現行國家標準潔凈廠房設計規范GB 50073的有關規定；2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。6.2.9 潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰

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