半導體FAB生產廠房各個系統材料材質表.xls

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半導體FAB生產廠房各個系統材料材質表.xls

1、序序號號系系統統數數量量單單位位設設計計院院推推薦薦材材料料室室外外埋埋地地2CentralCentral UtilitiesUtilities 中中央央工工藝藝City Water(自來水)大于或同50mm用鋼絲網骨架增強PE復合管（PN=1MPa),小于50mm用內筋嵌入式襯塑鋼管（內襯PP-R，PN=1.25MPa）卡環連接PCW製程冷卻水系統)CDA(製程高壓空氣系統)Process Vacuum(製程真空系統)House Vacuum(2)(清潔真空系統)NA冷卻塔中溫冷水（12oC/18OC)冷凍水（5oC/12oC)）（空調冰水主機）熱水（80o/70oC（鍋爐）排水用鑄鐵管，承

2、插接口中溫水（37oC/27OC)天然氣給鍋爐無縫鋼管地埋燃油罐3 3潔潔凈凈室室 Make-up Air(MUA)(新風)Supporting-Area(支援區)Recirculation（循環）空調冷凝水排水PVC-U重力流空調冷凝水回收3ExhaustExhaust（排排風風）General(一般排氣)Acid(酸排氣)Solvent(溶劑排氣)4UltraUltra PurePure WaterWater（超超高高純純凈凈水水）UPW超高純凈水R.OUPW冷凍純凈水Reclaim DI(回收系統)5BulkBulk GasGas（大大眾眾氣氣體體）氣體站進純化間管路（普通氮氣）氣體站進

3、純化間管路（其它）General N2普通氮氣CDAProcess N2(2+1)純凈氮氣Process O2(1+1)純凈氧氣Process ArProcess H2(1+1)純凈氫氣Process He6SpecialSpecial GasGas特特別別氣氣體體 Inert(惰性氣體)Corrosive(腐蝕性氣體)Flammable(揮發性氣體)Toxic(毒性氣體)7ChemicalChemical化化學學物物品品 Acid(酸)Base(堿)有機類顯影液8WasteWaste WaterWater廢廢水水 Neutralization Fluoride Others Total9D

4、rainDrain SystemSystem排排廢廢系系統統 DR-R(回收)PP DR-W(一般酸鹼)PP DR-HF(濃)PP DR-DHF(稀)PP DR-S溶劑SS304Total10CentralCentral MonitoringMonitoring&ControlControlSystemSystem 中中央央檢檢測測及及控控制制系系統統11OthersOthers其其他他12FireFire FightingFighting SystemSystem消消防防系系統統1室外消防栓2室內消防栓3消防噴淋4滅火器1414FireFire DetectionDetection Syst

5、emSystem消消防防報報警警系系統統1煙感應2排煙3Vesda System 消防空氣檢測系統1515CleanroomCleanroom ControlControl SystemSystem 潔潔凈凈室室控控制制系系統統1616ProductionProduction areaarea 生生產產區區內內裝裝二次鋼結構噸天花 1.2 x 1.2mm2盲板m2高架地板600 x 600mmm2墻版m2門及配件1800 x 2100個門及配件1800 x 2100個窗密封膠m2環氧樹脂m2風淋室個暖暖通通 FFU 1.2 x 1.2m個FFU 1.2 x 0.6m個超高效過濾器1.2 x 1

6、.2m個超高效過濾器1.2 x 0.6m新風機干盤管（DCC）個保溫棉熱水保溫電電氣氣設備配電箱照明配電箱橋架控制橋架IT橋架防靜電控控制制濕度控制器溫度控制器控制閥控制風閥平衡閥過濾風機排煙消消防防系系統統消防栓箱及管道空氣采樣管道備備注注室室外外室室內內埋埋的的/穿穿墻墻/穿穿樓樓板板室室內內PP-RPP-R SS304SS304SS304SS304干燥器前 SS304,干燥器后 SS 304Sch 80 UPVCSch 80 UPVCNANANA用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺

7、旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管排水用鑄鐵管，承插接口用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管用焊接鋼管及螺旋埋弧焊鋼管無縫鋼管無縫鋼管無縫鋼管用無縫鋼管鍍鋅鐵皮鍍鋅鐵皮鍍鋅鐵皮鍍鋅鐵皮PVC-UPVC-UPVC-UPVC-UPVC-U鍍鋅圓管PP風管SS304圓管回水用PP-H，PN=1MPa設設計計院院推推薦薦材材料料到MAU加濕用Sch40PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClea

8、n PVCSS304-APSS304-BASS304-APSS304-APSS304-APSS304-APSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPPFA+透明PVCPFA+透明PVCSS316L-BASS316L-BAPN=1MPaPN=1MPaPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaPP

9、PPPPPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaSS304SS304SS304PN=1MPa雙壁熱鍍鋅管雙壁熱鍍鋅管雙壁熱鍍鋅管雙壁熱鍍鋅管小于100mm螺紋連接，大于100mm卡環連接雙壁熱鍍鋅管雙壁熱鍍鋅管小于100mm螺紋連接，大于100mm卡環連接鍍鋅鐵皮ABS系統要包括起管道及線鋁合金12MM夾心彩鋼板壓鑄鋁合金大于20%的開孔率巖棉夾心防靜電鐵板中性鍍鋅框交流直流待定鍍鋅框交流直流待定銅管，鋁翅片B1級橡塑+PVCB1級橡塑+PVC帶鋁箔的玻璃棉，外包鋁皮帶鋁箔的玻璃棉烤漆鋼板箱體，雙層門（內門活動）鋁合金（200及以上T型，200以下槽式）鍍鋅扁鐵，潔凈室內用銅線普通鋁合金ABS